Öffentliche Ausschreibung Neubiberg 2022 Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT466/DTEC

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT466/DTEC_HW

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neubiberg
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85579
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/LT466/DTEC_HW

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38511000 Elektronenmikroskope

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems.

Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben.

Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung.

Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die

Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.11.2021 abgeschlossen sein.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE21H München, Landkreis

Hauptort der Ausführung:

Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M die Bereitstellung von Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen zum Monitoring von Vitalfunktionen. Konkret sollen Lösungen für mobile chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten entwickelt werden, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann so ein sehr differenziertes Bild des Zustandes des Probanden ermittelt werden. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-SENSE hat Applikationen aus unterschiedlichsten Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen. Für den Forschungsaspekt Energie und Antrieb beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens das Elektronenstrahllithographiesystem zu erwerben. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems. Die Anlage wird zur Herstellung und Belichtung kleinster Strukturen auf 4-Zoll-Wafern benötigt. Derart kleine Strukturen können nur mittels Elektronenstrahllithographie erzeugt werden. Die erforderliche Präzision der Lithographie ist nur gegeben, wenn diese Strukturen versatzfrei auf einem ganzen Wafer erzeugt werden können, sog. "stitching-freies" Schreiben. Vom Lieferumfang umfasst sind auch ein Hochleistungs-PC und für den Betrieb des Elektronenstrahllithographiesystems erforderliche Software sowie eine 5-tägige Schulung und Einweisung in den Betrieb des Systems für das Personal der UniBw M. Für die Beschaffung des Auftragsgegenstands steht der UniBw M ein Budget von maximal EUR 600.00,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen und das Verfahren insgesamt aufzuheben, falls lediglich Angebote eingehen, die Die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Elektronenstrahllithographiesystems soll möglichst bis zum 30.03.2022 abgeschlossen sein. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 188-488568

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 1

Bezeichnung des Auftrags:

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

09/11/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 0

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dortmund
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 44263
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

07/02/2022

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