Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT420_Vital_Sense_9912_EIT2.1_HW
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neubiberg
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85579
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.evergabe-online.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner
Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitä-ten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet.
Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierung- und Techno-logieforschung der Bundeswehr" (kurz DTEC.Bw) gegründet. DTEC.Bw ist Bestand-teil des Konjunkturprogramms der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet.
Die Universität der Bundeswehr in München plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines Mask Aligners zur Belichtung von Siliziumwafern. Die Flexibilität des Gerätes und die erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.
Für das Projekt beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens ei-nen Mask Aligner zu beschaffen.
Für das Projekt VITAL-SENSE benötigt die UniBw M einen Mask Aligner um Siliziumwafer zu belichten. Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Um fertige Bauelemente herzustellen werden hohe Ansprüche in Sachen Reproduzierbarkeit und Qualität der Ergebnisse gestellt.
Der Mask Aligner muss die hohen Reinheitsanforderungen, die Genauigkeit der Justage, Auflösung und Homogenität der Halbleitertechnologie erfüllen.
Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme
von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner. Im Rahmen der Inbetrieb-nahme muss der Auftragnehmer das Personal der UniBw M in den Betrieb des Mask Aligners einführen.
Die UniBw M benötigt 1 Belichter/ Mask Aligner, welcher 4", 6" und 8" Wafer bearbei-ten kann.
Die UniBw M hat für die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Mask Aligners insgesamt ein Budget von maximal EUR 428.155,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen sowie das Verfahren aufzuheben, sollten ausschließlich Angebote oberhalb des Kostenrahmens eingehen.
Der obsiegende Bieter muss den Mask Aligner spätestens bis zum 15.03.2023 liefern, installieren und in Betrieb nehmen. Der obsiegende Bieter muss eine Garantie für die Funktionsfähigkeit und Beschaffenheit des Mask Aligners für eine Dauer von 24 Mo-naten ab Abnahme übernehmen.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 zum Liefervertrag,
Anlage 2).
Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften
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Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes
gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen.
Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB
spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen
zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des
Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim
Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160
Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Teilnahmefrist bei dem Auftraggeber zu rügen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]