TSV Galvanik - PR421235 - 2590 - W Referenznummer der Bekanntmachung: PR421235 - 2590 - W
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Einkauf Wissenschaftliche Geräte
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/
Abschnitt II: Gegenstand
TSV Galvanik - PR421235 - 2590 - W
PR421235 - 2590 - W TSV Galvanik
Fraunhofer Institute for Reliability and
Microintegration IZM
Department Wafer Level System Integration
Gustav-Meyer-Allee 25
13355 Berlin
Germany)
Dieses Dokument definiert alle Anforderungen und Abnahmekriterien des Fraunhofer IZM für eine TSV-Beschichtungsanlage, die während der Inbetriebnahme und der Garantiezeit erfüllt werden müssen. Diese Kriterien sollen die Leistungsfähigkeit der Anlage demonstrieren und die Anforderungen des lunkerfreien TSV-Füllprozesses auf 200mm-Wafern unter Verwendung eines neuartigen Bottom-up-Cu-Galvanisierungselektrolyten erfüllen. Darüber hinaus muss die Anlage über eine Vakuum-Vorbenetzungsstation für 200mm-Wafer (F/1) und eine Spül- und Trockenstation für 200mm-Wafer (F/2) verfügen. Eine zusätzliche chemische Vorbehandlungskammer (BP/3) kann ebenfalls als Option angeboten werden.
Die Ausrüstung muss die unten beschriebenen spezifischen Prozessanforderungen unter Verwendung geeigneter Probenstrukturen, z. B. strukturiertes und unstrukturiertes Testwafermaterial, erfüllen. Die endgültigen Probenstrukturen, die für die Abnahme verwendet werden, werden vom Fraunhofer-IZM vor der Geräteabnahme festgelegt. Die Kriterien für die Zuverlässigkeit des Systems müssen während der Garantiezeit nachgewiesen werden. Darüber hinaus werden grundlegende Anforderungen an die Reinraumumgebung, den Transport, die Installation und den Support festgelegt.
FMD-QNC
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Abschnitt IV: Verfahren
entfällt
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Postanschrift: Hansastraße 27c
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse: https://www.fraunhofer.de