Dual-Beam-System Helios 5 PFIB CXe Referenznummer der Bekanntmachung: keine
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jülich
NUTS-Code: DE Deutschland
Postleitzahl: 52425
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.fz-Juelich.de
Abschnitt II: Gegenstand
Dual-Beam-System Helios 5 PFIB CXe
Dual-Beam-System Helios 5 PFIB CXe
Forschungszentrum Jülich
Dual-Beam-System Helios 5 PFIB CXe
Abschnitt IV: Verfahren
- Die betreffenden Erzeugnisse werden gemäß den in der Richtlinie genannten Bedingungen ausschließlich für Forschungs-, Versuchs-, Untersuchungs- oder Entwicklungszwecke hergestellt
Folgende Eigenschaften sind unbedingte Voraussetzung. Anlagen, die auch nur eines der Kriterien nicht erfüllen, sind zur Umsetzung des Forschungsprogramms nicht geeignet.
- Höchstauflösende Elektronenoptik, besonders bei niedrigen Beschleunigungsspannungen von 1 kV (0.6 nm @ 15 kV, 0.7 @ 1 kV)
- Sanfte wie gleichwohl schnell schneidende Xe-Ionenoptik (maximaler Strahlstrom > 2 Mikroampere, maximale Beschleunigungsspannung 30 kV, minimale Beschleunigungsspannung 0.5 kV)
- Ein voll in die Maschinensoftware integrierter Mikromanipulator, der nicht nur in x, y und z-Richtung bewegbar ist, sondern dessen Spitze rotieren kann.
- Ein Mehrquellen Gasinjektionssystem mit nur einem Injektor, das mindestens 2 Precursorgase vor der Injektion mischbar macht.
- Anschlussfähigkeit an die bestehende Elektronenmikroskopie-Landschaft im ERC (gemeinsame Nutzung von Infrastruktur sowie Vorrichtungen für die Herstellung qualitativ hochwertiger TEM-Lamellen für in-situ Experimente bzw. MEMS-Chip-Anwendungen sowie atomar auflösender TEM-Messungen luftempfindlicher Proben).
- Erweiterbarkeit um den sogenannten Mikroreaktor der Fa. Thermo Fisher Science
- Volle Automatisierbarkeit der Herstellung von TEM-Lamellen und 3D-FIB-TomographieTomographie
Dual-Beam-Mikroskope werden von den Firmen Hitachi, Carl-Zeiss-Microscopy, Jeol, Tescan und Thermo Fisher Scientific angeboten. Die Firmen Hitachi, Carl-Zeiss und Jeol bieten solche Geräte nur mit Ga-Ionenoptik an. Nur Tescan und Thermo Fischer Scientific bieten die entsprechenden Geräte mit Xe-Plasma-Ionenoptik an. Das Gerät Helios 5 PFIB der Fa. Thermo Fischer Scientific erfüllt die essentiellen, dargelegten Anforderungen, während dem Gerät AMBER X UHR PFIP der Fa. Tescan wichtige Aspekte fehlen. Die erforderliche Abbildungsleistung der Elektronenoptik erreicht die Fa. Thermo Fischer durch den Einsatz eines einzigartigen Monochromators in der Elektronenquelle. Das Gerät der Fa. Tescan liegt hier deutlich niedriger (1.3 nm @ 1 kV, 0.9 nm @ 15 kV). Nur die Ionenoptik der Fa. Thermo Fisher erfüllt die Bedingung sanft bei 0.5 kV Beschleunigungsspannung arbeiten zu können. Die minimale Beschleunigungsspannung des Tescan-Geräts liegt hier mit 3 kV deutlich höher. Nur das Gasinjektionssystem der Fa. Thermo Fisher erlaubt es, die Precursorgase vor der Injektion zu mischen, um die Härte der abzuscheidenden Schutzschichten an die Probenmaterialien anzupassen. Der Mikromanipulator der Fa. Thermo Fisher ist vollständig in die Maschinensoftware integriert, beweglich in den 3 Raumrichtungen und drehbar. Der in die Maschinensoftware integrierte Manipulator des Tescan-Geräts ist nur in den 3 Raumrichtungen bewegbar. Für Manipulatoren mit drehbarer Spitze setzt Tescan auf Fremdhersteller, die dann aber nicht in die Maschinensoftware eingebunden sind. Die geforderte Kompatibilität mit der Infrastruktur des Ernst Ruska Zentrums ist nur mit dem Helios 5 von Thermo Fisher zu realisieren. Der für zukünftige Projekte benötigte Mikroreaktor ist in seiner Form und Funktion einzigartig. Er ermöglicht die Beobachtung und Analyse von Reaktionen unter Einsatzbedingungen. Temperatur (bis 1200°C) und Atmosphäre können per Software gesteuert werden. Das Reaktorvolumen ist dabei so klein gehalten, dass kritische Kontaminationen des Mikroskops ausbleiben. Die Nachrüstung setzt ein entsprechendes Gerät der Fa. Thermo Fischer voraus. Das von der Fa. Thermo Fischer angebotene Gerät zeichnet sich zusätzlich durch eine vollautomatische Justage von REM- und FIB-Säule aus. Aus den genannten Gründen ist für uns das Dual-Beam Gerät Helios 5 PFIB CXe der Fa. Thermo Fischer Scientific alternativlos.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Dual-Beam-System Helios 5 PFIB CXe
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dreieich
NUTS-Code: DE Deutschland
Postleitzahl: 63303
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland