Öffentliche Ausschreibung Duisburg 2022 Elektronenstrahl-Lithografieanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 27-22 LR 2022-09-20

Elektronenstrahl-Lithografieanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 27-22 LR

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Duisburg
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 47057
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-due.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: 27-22 LR

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38341100 Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik

in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der

Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der

Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO

14644-1) betrieben.

Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende

Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den

aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit

darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in

Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher

Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.

Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: 1 585 000.00 EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

Universität Duisburg-Essen Lotharstraße 55-65 47057 Duisburg In der Leistungsbeschreibungen finden Sie alle Angaben inkl. Bilder. Auf jeden Fall muss die Anlage über die Außentür Lieferanteneingang ins Gebäude eingebracht werden. Der in der Leistungsbeschreibung unter 6.1 beschriebene Weg ist für beide Varianten A und B zutreffend.

Im Gebäude bestehen zwei verschiedene Wege A und B, die in der Leistungsbeschreibung unter 6.2 und 6.3 beschrieben sind.

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik

in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der

Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der

Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO

14644-1) betrieben.

Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende

Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den

aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit

darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in

Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher

Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.

Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Bewertungskriterien aus der Leistungsbeschreibung / Gewichtung: 50

Preis - Gewichtung: 50

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 070-183577

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 4500035709

Bezeichnung des Auftrags:

27-22 LR: Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

07/06/2022

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Freising
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 85356
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://jeol.de

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 2 200 000.00 EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1 585 000.00 EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MDF4F

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.brd.nrw.de

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.

Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1 genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach

Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

15/09/2022

Datenschutzerklärung