IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen Referenznummer der Bekanntmachung: 2022/505
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Stuttgart
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ims-chips.de
Abschnitt II: Gegenstand
IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereit-stellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Dimension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
Die Anlieferung der Anlage an das Institut für Mikroelektronik Stuttgart muss bis spätestens 30.06.2023 erfolgen.
Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.
Die Anforderungen an das zu beschaffenden Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2).
Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.
Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Krefeld
NUTS-Code: DEA14 Krefeld, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 47807
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZ6DA3
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).
Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat;
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.
Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.