Cluster-Tool Referenznummer der Bekanntmachung: 04/2022
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Aachen
NUTS-Code: DEA2D Städteregion Aachen
Postleitzahl: 52074
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.amo.de
Abschnitt II: Gegenstand
Cluster-Tool
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid.
AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH Otto-Blumenthal-Straße 25 52074 Aachen
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid. Dabei stehen die folgenden Ziele im Vordergrund:
- Die AMO stellt unter Berücksichtigung der Wirtschaftlichkeit hohe Anforderungen an die Qualität des Cluster-Tools.
- Da das Cluster-Tool kurzfristig benötigt wird, ist es für die AMO wichtig, dass die Lieferung kurzfristig (wenige Monate) erfolgt.
- Für den Einsatz im laufenden Forschungsprojekt gibt es eine Reihe von erforderlichen Spezifikationen, die das Gerät erfüllen muss. Hierzu wird auf die Leistungsbeschreibung verwiesen.
Zuwendungen des Bundesministerium für Bildung und Forschung, FKZ: 13N16116, Verbundprojekt: Quantencomputer mit gespeicherten Ionen für Anwendungen (ATIQ) - Teilvorhaben: Nanophotonik-Plattform für integrierte Ionenfallen
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
- Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnum-mer, E-Mail-Adresse) sowie die Angabe der Eintragung in ein Berufs- oder Handelsregister, alternativ eine Angabe nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem der Bieter ansässig ist;
- Erklärung, dass keine Ausschlussgründe gemäß § 123 Abs. 1 GWB bestehen;
- Eigenerklärung, dass über das Vermögen des Bieters nicht das Insolvenzverfahren oder ein vergleichbares Verfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels Masse abgelehnt worden ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat und eine Erklärung, dass sich der Bieter nicht in Liquidation befindet;
- Eigenerklärung, dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen ordnungsgemäß nachgekommen ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat;
- Eigenerklärung, dass keine wettbewerbsverzerrende Vereinbarung getroffen wurde.
- Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von mindestens EUR 3 Mio. zweifach maximiert je Versicherungsjahr verfügt. Verfügt der Bieter zum Zeitpunkt der Abgabe des Angebotes noch nicht über einen entsprechenden Versicherungsschutz, ist es ausreichend, wenn er bestätigt, den Versicherungsschutz im Auftragsfall entsprechend aufzustocken. Für die Angebotseinreichung ist die Eigenerklärung ausreichend. Der Nachweis über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung ist erst auf gesondertes Verlangen der Vergabestelle einzureichen.
- Eigenerklärung zum Bruttogesamtumsatz des Unternehmens in den letzten drei Geschäftsjahren.
- Eigenerklärung mit Referenzen zu mindestens drei erfolgreich installierten ähnlichen Cluster-Tools aus den letzten drei Jahren, unter Angabe des Kundennamens, des Ortes der Leistungserbringung und einer Kurzbeschreibung des Projektes. Der Bieter sollte einen Ansprechpartner zur Überprüfung der Referenzen nennen, soweit dies aus datenschutzrechtlichen Gründen nicht möglich ist, ist die entsprechende Abteilung mit Kontaktdaten anzugeben.
Mindestanforderungen an die Referenzen sind, dass es sich um Cluster-Tools handelt, die folgende Merkmale aufweisen:
- Vollautomatische Schleusenkammer
- Mindestens 2 Prozess-Kammern
- DC- und RF-Sputter-Prozesse
- Wafer mit mindestens 200 mm Durchmesser können prozessiert werden
- Steuerungssoftware muss SPS-basierend sein.
- Eigenerklärung, dass zum Zeitpunkt der Angebotsabgabe stichhaltiges Know-how auf dem Gebiet der Aluminium-Nitrid-Beschichtung vorliegt. Die vollständige Neu-Entwicklung eines solchen Prozesses ist im Rahmen dieses Auftrags nicht akzeptabel. Die mittels XRD-Messung (Röntgenbeugung) gewonnene Rocking curve einer durch den Bieter deponierten c-Achsen-orientierten AlN-Schicht (Schichtdicke: 0,5-1 µm) ist mit dem Angebot abzugeben. Folgende Werte müssen erreicht werden:
- FWHM < 2,5°
- Uniformity < +/- 3 %
Abschnitt IV: Verfahren
AMO GmbH, Aachen
Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRRS5T
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland
Fax: [gelöscht]
Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten:
Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein Nachprüfungsantrag nur zulässig ist, soweit
1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber der Vergabestelle innerhalb von spätestens 10 Tagen gerügt hat;
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens mit Ablauf der in den Vergabeunterlagen benannten Frist zur Abgabe erster indikativer Angebote gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;
4. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung der Vergabestelle, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, gestellt wird.
Weitere Einzelheiten können § 160 GWB entnommen werden.