Cluster-Trockenätzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EUAbschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Villingen-Schwenningen
NUTS-Code: DE136 Schwarzwald-Baar-Kreis
Postleitzahl: 78052
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.Hahn-Schickard.de
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Villingen-Schwenningen
NUTS-Code: DE136 Schwarzwald-Baar-Kreis
Postleitzahl: 78052
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.Hahn-Schickard.de
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.evergabe.de/unterlagen/2607701/zustellweg-auswaehlen
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.evergabe.de
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Institutionell geförderte Forschungseinrichtung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Cluster-Trockenätzanlage
Referenznummer der Bekanntmachung: VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE136 Schwarzwald-Baar-Kreis
Hauptort der Ausführung:
Villingen-Schwenningen, DE
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 10
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
Projektnummer oder -referenz:
EU React
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde; Nachweis einer entsprechenden Berufs- oder Haftpflichtversicherung; Eigenerklärung über das Einhalten des Tariftreue- und Mindestlohngesetzes und über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben.
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
CE-Konformität und Reinraumtauglichkeit
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
gemäß Spezifikation
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
gemäß Spezifikation
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 23/08/2022
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 30/09/2022
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 24/08/2022
Ortszeit: 13:00
Ort:
Online Villingen-Schwenningen, Wilhelm-Schickard-Str. 10
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
13/07/2022