ALD-System Referenznummer der Bekanntmachung: 2022/057
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dortmund
NUTS-Code: DEA52 Dortmund, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 44227
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-dortmund.de
Abschnitt II: Gegenstand
ALD-System
Kauf einer Atomlagen-Depositions-Anlage
Dortmund Emil-Figge-Str. 68 44227 Dortmund
Die Technische Universität Dortmund beabsichtigt eine Anlage zur Atomlagen-Deposition (Atomic Layer Deposition, ALD) für Substratgrößen bis zu 200 mm (bis zu 8 Zoll) zu kaufen. Mit den hierdurch zur Verfügung stehenden Prozessen sollen insbesondere funktionale (z.B. multiferroische oder memristive) Oxide und Nitride sowie katalytisch wirksame Metalle, für die Verwendung in neuartigen elektronischen Bauelementen, abgeschieden werden. Die geplanten Forschungsvorhaben sollen unter Ausnutzung der spezifischen Depositionseigenschaften einer ALD-Anlage, wie präziser Schichtdickenkontrolle, exakt einstellbarer Stöchiometrie, hohem geometrischem Aspektverhältnis und geringer Depositionstemperatur und -energie erfolgen.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Auftragsvergabe Picosun Oy
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Espoo
NUTS-Code: FI1B1 Helsinki-Uusimaa
Postleitzahl: 02150
Land: Finnland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXS7YD5YDR1
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48147
Land: Deutschland
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.bezreg-muenster.nrw.de/de/wirtschaft_finanzen_kommunalaufsicht/vergabekammer_westfalen/index.html