Beschaffung eines Beschichtungszentrums bestehend aus einem Verbund von drei (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideanlagen mit Zubehör Referenznummer der Bekanntmachung: 1.3-07EU2022
Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Siegen
NUTS-Code: DEA5A Siegen-Wittgenstein
Postleitzahl: 57076
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-siegen.de
Adresse des Beschafferprofils: www.uni-siegen.de/zuv/dezernat1neu/abteilung_1_3
Abschnitt II: Gegenstand
Beschaffung eines Beschichtungszentrums bestehend aus einem Verbund von drei (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideanlagen mit Zubehör
Beschaffung eines Beschichtungszentrums für den Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen bestehend aus drei komplementär ausgestatteten und gekoppelten Hochvakuumanlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (reaktives Sputtern, Elektronenstrahl- und thermisches Verdampfen) im Rahmen eines Paketes von drei DFG-geförderten Großgeräteanträgen/ einer DFG-Großgeräteförderung. Das Beschichtungszentrum erlaubt durch ein hochspezialisiertes (U)HV-kompatible Transferschleusensystem, einem dedizierten Kryo-(U)HV-Transfershuttle sowie einer Glovebox in Sonderbauform die Herstellung und Handhabung hochreaktiver und empfindlicher Proben und Bauelemente. Die Vernetzung der Steuerung sowie die Remote-Servicefähigkeit erlauben die Prozessoptimierung, -steuerung und Anlagenwarten von außerhalb des Reinraums.
Universität Siegen
Fakultät IV – Department Elektrotechnik und Informatik
Hölderlinstraße 3, Gebäude E
57076 Siegen
Beschaffung eines kompakten Beschichtungszentrums zur physikalischen Gasphasenabscheidung für den bestehenden und zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen.
Das Beschichtungszentrum dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil der Abscheidung verschiedenster Werkstoffdünnschichten von metallischen Filmen zu Halbleiterschichten und Isolatoren für die materialwissenschaftliche Grundlagenforschung, vor allem aber auch der Herstellung neuartiger Sensoren aus verschiedensten Materialkombinationen sowie deren Integration in komplexe Bauelemente. Es steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung.
Das Beschichtungszentrum ermöglicht durchgehend die Prozessierung von bis zu 6“ großen Substraten zur Prototypenherstellung. Es werden in den verschiedenen Forschungsbereichen höchste Anforderungen an die Schichtqualität, die Qualität chemischer Übergänge und vor allem die Erhaltung des Zustands empfindlicher Proben während des Transfers innerhalb des Beschichtungszentrums sowie in weitere angebundene Anlagen gestellt, die lediglich dieser Anlagenverbund mit dediziertem Transfersystem ermöglicht.
Die technologische Verknüpfung der Anlagen sowie die unmittelbare räumliche Nähe zur Nanoanalytik ermöglichen den systematischen Ausbau der hochaktuellen, herausfordernden Forschung hochreaktiven und/oder umgebungsempfindlichen Proben/Werkstoffen. Hierzu läuft die gesamte Prozesskette von der Materialherstellung über die Charakterisierung bis zu dessen Einsatz unter (kryogenen) Inertgas-/Vakuumbedingungen ab. Das Zentrum besteht aus drei komplementär ausgestatteten, gekoppelten Hochvakuumanlagen und umfasst zusätzlich zur technologisch-spezifischen Abscheidefunktionalität dieser Anlagen für reaktives RF/DC Sputtern, Elektronenstrahl- und thermisches Verdampfen ein hochspezialisiertes, U(HV)-kompatibles Probenschleusensystem an allen Anlagen, ein autarkes (U)HV-Transfersystem mit Flüssigstickstoffkühlung sowie eine anlagenspezifische Inertgas-Glovebox mit zwei Arbeitsplätzen in Sonderbauform (an Abscheideanlage mit thermischem und Elektronenstrahlverdampfer, erweiterbar um weitere Arbeitsplätze) für die Forschung an hochreaktiven Schichtsystemen (z.B. für die Energieforschung) sowie zur systematischen Integration umgebungsempfindlicher Materialien in komplexe Bauelemente (z.B. Perovskite, 2D-Halbleiter). Signifikante Vorteil gegenüber konventionellen, robotergestützten Clusteranlagen zum Transfer zwischen verschiedenen Beschichtungssystemen bestehen im maximalen Grad an Flexibilität in der Materialwahl sowie im parallelen Einsatz der Anlagen für verschiedenste Forschungsprojekte sowie im korrelativen Workflow zwischen dünnschichttechnologischen Herstellungsverfahren und der Mikro-/Nanoanalytik, den das autarke Kryo-(U)HV Transfermodul erlaubt. Das anlagenübergreifende Transfersystem sowie die Inert-Glovebox dienen zudem der kontrollierten Weitergabe und Einbringung der empfindlichen/reaktiven Proben in weitere dünnschichttechnologische Anlagen sowie in mikro- und nanoanalytische Charakterisierungsgeräte und sind daher mit weiteren bestehenden und zukünftigen Anlagen an der Universität Siegen kompatibel.
Die Remote-Servicefähigkeit des gesamten Anlagenparks ist aufgrund der Aufstellung des Beschichtungszentrums in modernem ISO-4 Reinraum zwingend erforderlich, so dass Servicearbeiten mit möglichst geringem Eintrag von zusätzlichen Verunreinigungen (wenige MitarbeiterInnen/ wenige beteiligte Unternehmen) durchgeführt werden können. Ein anlagenspezifisches Energiemonitoring ist zwingend erforderlich.
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen Leistungen ist. Beabsichtigt ist die Beschaffung eines Beschichtungszentrums bestehend aus drei (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideranlagen mit Zubehör bei dem benannten Unternehmer aufgrund folgender Umstände:
Beabsichtigt ist die Beschaffung eines PVD-Beschichtungszentrums, das zentral an der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen zum Einsatz kommen wird. Die diesbezüglichen hochspeziellen Anforderungen leiten sich aus dem bewilligten Großgeräteantrag der Universität Siegen ab, der von der Deutschen Forschungsgemeinschaft bewilligt worden ist. Aus diesem Forschungsanspruch heraus und aufgrund der zentralen Bedeutung des Zentrums für die Material- und Sensorforschung an der Universität Siegen muss das Beschichtungszentrum folgende Anforderungen zwingend kumulativ erfüllen, die in ihrer gesamten Ausprägung allein die Fa. Leybold GmbH anforderungsgerecht zu erfüllen vermag.
Die umfangreichen technischen Anforderungen können in diesem Formular nicht abschließend aufgeführt werden. Daher wird folgender Link, der direkt und unmittelbar - entsprechend der vergaberechtlichen Anforderungen - zu den weiteren umfassenden Anforderungen führt (sogen. Deeplink), angeboten: https://u-si.de/YTeNg
Falls das EU-Formular ein direktes Anklicken nicht ermöglicht, so kopieren Sie den Link bitte in Ihre Browserzeile.
In Abgrenzung zu anderen Spartenmarktteilnehmern hat der Auftragnehmer mit Blick auf das kumulative Vorliegen der unabdingbar erforderlichen wissenschaftlich-technischen Spezifika eine hinreichende Alleinstellung inne. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die im Rahmen der DFG-Großgeräteförderung bewilligten speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen - mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV).
Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
Beschaffung eines Beschichtungszentrums bestehend aus einem Verbund von drei (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideanlagen mit Zubehör
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA23 Köln, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
- Das unter Ziff. V.2.1 angegebene Datum ist nicht das Datum des Vertragsschlusses, der Vertrag wird frühestens 10 Kalendertage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung geschlossen werden (§ 135 Abs. 3, S. 1, Nr. 3 GWB).
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48128
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48128
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
§135 GWB:
(1) Ein öffentlicher Auftrag ist von Anfang an unwirksam, wenn der öffentliche Auftraggeber...
2. den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist,
und dieser Verstoß in einem Nachprüfungsverfahren festgestellt worden ist.
(3) Die Unwirksamkeit nach Absatz 1 Nummer 2 tritt nicht ein, wenn
1. der öffentliche Auftraggeber der Ansicht ist, dass die Auftragsvergabe ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union zulässig ist,
2. der öffentliche Auftraggeber eine Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union veröffentlicht hat, mit der er die Absicht bekundet, den Vertrag abzuschließen, und
3. der Vertrag nicht vor Ablauf einer Frist von mindestens zehn Kalendertagen, gerechnet ab dem Tag nach der Veröffentlichung dieser Bekanntmachung, abgeschlossen wurde.
Die Bekanntmachung nach Satz 1 Nummer 2 muss den Namen und die Kontaktdaten des öffentlichen Auftraggebers, die Beschreibung des Vertragsgegenstands, die Begründung der Entscheidung des Auftraggebers, den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union zu vergeben, und den Namen und die Kontaktdaten des Unternehmens, das den Zuschlag erhalten soll, umfassen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48128
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]