Öffentliche Ausschreibung Paderborn 2022 Maskenlithografie Referenznummer der Bekanntmachung: 200/8/22/2 2022-05-23

Maskenlithografie Referenznummer der Bekanntmachung: 200/8/22/2

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Paderborn
NUTS-Code: DEA47 Paderborn
Postleitzahl: 33098
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.uni-paderborn.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Regional- oder Kommunalbehörde

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Maskenlithografie

Referenznummer der Bekanntmachung: 200/8/22/2

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38970000 Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 4 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optischen Bauelemente basieren auf periodischen Strukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Periodenlänge stellen. Es sollen Einzelbauelemente in der Maskenlithografie zu einer Baugruppe auf Wafergröße zusammengefügt und hergestellt werden können.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DEA47 Paderborn

Hauptort der Ausführung:

Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Es wurde im Rahmen des offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Maskenausrichterkomplettsystem bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und motorisiertem Ausrichtungstisch gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von 1,2x1,0m2 für die Haupteinheit platziert werden können.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Kriterium / Gewichtung: 80

Preis - Gewichtung: 20.00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 073-194587

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Bezeichnung des Auftrags:

Auftragsvergabe SUSS MicroTec Lithography GmbH

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

16/05/2022

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 0

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Garching
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYYA6

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: +49 2514110
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://brms.nrw.de

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber

gerügt werden.

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.

4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

18/05/2022

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