Hochleistungs-ICP-Ätzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 200/12/22/1
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Paderborn
NUTS-Code: DEA47 Paderborn
Postleitzahl: 33098
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.uni-paderborn.de
Abschnitt II: Gegenstand
Hochleistungs-ICP-Ätzanlage
Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.
Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn
Es wurde im Rahmen des Offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Prozessmodul bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und Prozessanleitung gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von < = 170 cm x 65 cm für die Haupteinheit (ohne Vorpumpen, PC, heater/ chiller) platziert werden können.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Auftragsvergabe Oxford Instruments GmbH
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Wiesbaden
NUTS-Code: DE714 Wiesbaden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYYAR
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: +49 2514110
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://brms.nrw.de
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden.
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.
4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: +49 2514110
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://brms.nrw.de