Hochleistungs-ICP-Ätzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 200/12/22/1
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Paderborn
NUTS-Code: DEA47 Paderborn
Postleitzahl: 33098
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.uni-paderborn.de
Abschnitt II: Gegenstand
Hochleistungs-ICP-Ätzanlage
Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.
Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn
Es wird ein schlüsselfertiges halbautomatisches Prozessmodul bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und Prozessanleitung gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von < = 170 cm x 65 cm für die Haupteinheit (ohne Vorpumpen, PC, heater/ chiller) platziert werden können.
Die detaillierte Leistungsbeschreibung finden Sie in den Vergabeunterlagen (Dokument: Kriterienkatalog).
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen:
Eigenerklärungen, dass
1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und
2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB.
3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen.
4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)
1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden.
Wichtiger Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und Erklärungen gelten entsprechend.
Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft des Bieters.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel.
Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.
Sollten Sie technische Probleme beim Hochladen Ihres Angebotes haben, so wenden Sie sich bitte direkt an den Betreiber der Plattform (Cosinex AG), um von dort direkt Support bei der Problemlösung zu erhalten.
Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYYF7
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: +49 2514110
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://brms.nrw.de
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden.
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.
4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.