Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Stuttgart
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ims-chips.de

Andere: Stiftung bürgerlichen Rechts

Andere Tätigkeit: Forschung

IMS Chips - Europaweite Vergabe einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: 2021/1491

Lieferauftrag

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150mm, und 200mm Wafern und 6" Masken.

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis

Hauptort der Ausführung:

IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern und 6" Masken.

Ziel ist es, mit dieser Elektronenstrahlbelichtungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.

Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Elektronenstrahlbelichtungsanlage erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.

Optional soll ein zweijähriger Wartungs- und Servicevertrag beauftragt werden.

Die Anforderungen an die zu beschaffenden Elektronenstrahlbelichtungsanlage ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.

Qualitätskriterium - Name: Wafer (300mm) / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Masken (9035) / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: Auflösung / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: USV / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Lösung zur Datenvorbereitung / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Informationen zu ZP-Blenden / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Durchsatz / Gewichtung: 10

Qualitätskriterium - Name: Bewertung Bediensoftware / Gewichtung: 10

Kostenkriterium - Name: Uptime und Wartungskosten / Gewichtung: 10

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Elektronenstrahlbelichtungsanlage erhält das IMS EFFRE Fördermittel.

Verhandlungsverfahren

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 138-366538

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

28/02/2022

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.

Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZRGRA

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).

Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat;

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.

Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.

30/03/2022