IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen Referenznummer der Bekanntmachung: 2022/505
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2022-03-09
Baden-Württemberg
Stuttgart
Baden-Württemberg
Stuttgart
2022-03-09
Baden-Württemberg
Stuttgart
CPV: 42990000-2
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
CPV: 31000000-6
Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung