Vakuum-Metallisierungsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: 26-21 SF
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Duisburg
NUTS-Code: DEA12 Duisburg, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 47057
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-due.de
Abschnitt II: Gegenstand
Vakuum-Metallisierungsanlage
Beschichtungsanlage für Bauelemente und Schaltungen aus III/V-Halbleitern.
Universität Duisburg-Essen
Universitätsstr. 2
45141 Essen
Beschichtungsanlage für Bauelemente und Schaltungen aus III/V-Halbleitern. Die Beschichtungsanlage soll in der Lage sein, dünne Vielschichtsysteme auf III/V Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von bis zu 3" abzuscheiden. Die Anlage wird für bis zu 3" große Substrate aus Verbindungshalbleiter eingesetzt. Das Konzept der Anlage ist in Abb. 1 dargestellt. Es sollen 2 unterschiedliche Technologien in separaten Kammern angeboten werden:
— Die anisotrope Abscheidung aus einer Punktquelle für Lift-Off Strukturierung mittels tiefer sub-mikron Fotolackstrukturen erfolgt mittels Aufdampftechnik und zur Erhöhung der Oberflächenkontrolle mittels vorgeschalteter Präparationskammer,
— Die isotrope Abscheidung aus einer großflächigen Quelle für konforme und effiziente Bedeckung von Kanten erfolgt mittels Zerstäubungstechnik (Sputtern).
Näheres entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Neben der Leistungsbeschreibung sowie dem Vordruck EU_325 gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mit veröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.
Abschnitt IV: Verfahren
Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.
Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich.
Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.
Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool „Kommunikation“ auf der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mail-Adresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter.
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MD4VS
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse: http://www.brd.nrw.de
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach
Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.