1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Forschungszentrum Jülich GmbH
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Beschreibung: System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Kennung des Verfahrens: 481556d4-e17e-492f-9fc6-cc6e29c08a98
Interne Kennung: W10-42385139
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Leo-Brandt-Straße
Stadt: Jülich
Postleitzahl: 52428
Land, Gliederung (NUTS): Düren (DEA26)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 221 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Beschreibung: System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Interne Kennung: W10-42385139
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Leo-Brandt-Strasse
Stadt: Jülich
Postleitzahl: 52428
Land, Gliederung (NUTS): Düren (DEA26)
Land: Deutschland
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 221 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Gemäß § 39, Abs. 6, Nr. 3 VgV zählt der tatsächliche Preis zu den Informationen, die den geschäftlichen Interessen des Unternehmens schaden könnten. Daher wird in dieser Bekanntmachung lediglich der Schwellenwert angegeben.
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Beschreibung siehe oben.
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Siehe technische Spezifikation.
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde: Wir verweisen diesbezüglich auf § 160 GWB: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gemäß VgV.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, aus deren Mitteln der Auftrag bezahlt wird: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die die Zahlung ausführt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Forschungszentrum Jülich GmbH
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 221 000,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Die Herstellung memristiver Bauelemente auf der Nanoskala und ihre Integration mit Silizium-Chips in unterschiedlichen Technologieknoten (180 nm und 28 nm Technologie) und Wafergrößen (Durchmesser von 200 mm bis zu Chips von 6mm x 6mm), erfordert ein ALD-System, welches eine hohe Schichtdickenhomogenität (+/- 1,5 % über 150 mm) und eine hohe Prozessreproduzierbarkeit (< +/- 1.5 %) gewährleistet. Außerdem soll ein modernes System im Vergleich zu vorhandenen Anlagen stabile Depositionsprozesse mit deutlich kürzeren Pulszeiten und reduzierter Plasmaschädigung empfindlicher Substratoberflächen ermöglichen, um den Schritt zu einer weiteren Skalierung der neuartigen Bauelemente zu eröffnen. Für die Realisierung neuer Funktionalitäten wird an Multilagen-Schichtstrukturen geforscht. Die reproduzierbare Abscheidung von Schichtstapeln aus bis zu fünf Metalloxiden und -nitriden ohne Unterbrechung des Vakuums entscheidet wesentlich über die Qualität und Zuverlässigkeit der memristiven Bauelemente, die für eine Integration in Schaltkreise unerlässlich ist. Die Reproduzierbarkeit der Schichtdicke einzelner Lagen muss besser als 0,1 nm sein. Für empfindliche Substrate ist ein geringer Temperatureintrag und eine geringe Oberflächenoxidation wichtig, daher sind geringe Prozesstemperaturen (z.B. durch Plasmaunterstützung), kurze Prozesszeiten und eine Vorspannung am Substrathalter wichtig. Aus Gründen der Technologie-Kompatibilität und der Bereitstellung der erforderlichen Medien muss das neue ALD-System im Reinraum des PGI-7 an der Stelle des alten AIX200FE-Systems installiert werden. Bestandsbedingt steht die Anlage komplett im Reinraum und die Pumpen im Grauraum. Für das neue ALD-System steht in Platz von maximal BxTxH = 2,90 m x 0,95 m x 2,10 m zur Verfügung. Basierend auf langjährigen Forschungsarbeiten haben die am PGI-7 hergestellten memristiven Bauelemente aus ALD-abgeschiedenen Metalloxid-Stapeln Reifegrade erreicht, die ohne langwierige Neuentwicklung in gleicher Qualität transferiert werden müssen. Nachfolgende technische Anforderungen des Institutes PGI-7 werden nur durch das System der Fa. Oxford Instruments GmbH vollumfänglich erfüllt: Technische Anforderungen: Nr. Eigenschaften mit Begründung: 1 Plasma- und thermische ALD-Prozesse im Wechsel ohne Unterbrechung des Vakuums (Abscheidung mehrlagiger Metalloxid/- nitrid Schichtstapel mit exakt definierten Grenzflächen für nanoskalige memristive Bauelemente). 2 Wafergröße bis zu 200 mm (Aktueller Standard in Fabs, wie z.B. XFab und IHP) 3 Kleines Reaktorvolumen; beheizte Außenwand; auswechselbare Liner (Kurze Prozesszeiten durch effiziente Spülschritte und kleines Volumen; keine Kondensation des Materials an der Reaktorwand; Wartungsfreundlichkeit) 4 Substratteller beheizbar bis 400 °C; Anlegen einer angepassten Vorspannung (Temperatur kompatibel zu Silizium-back- end-of-line (max. 400 °C), Verringerung potenzieller Oxidation empfindlicher Oberflächen) 5 Mindestens 5 Präkursorlinien, 5 Gaslinien und eine H2O Linie (Thermische und plasmaunterstützte ALD-Prozesse sollen im Wechsel ohne Unterbrechung des Vakuums erfolgen zur Herstellung unterschiedlicher Schichtfolgen) 6 Maximale Abmessungen (in m) BxTxH = 2,90 x 0,95 x 2,10 (Einzig möglicher Aufstellort ist am Platz des alten AIX200FE-Systems im PGI-7 Reinraum.) 7 Transfer optimierter ALD-Rezepte vom FlexAL® System auf das neue ALD-System (Optimierte Schichtstapel für etablierte memristive Bauelemente müssen mit dem neuen ALD-System reproduzierbar in gleicher Qualität hergestellt werden). 8 Online-Support & technisches Personal vor Ort in 2 Tagen (Kurze Ausfallzeiten sind notwendig für das Erreichen der Projektziele). Aus technischen Gründen kommt daher nur das System der Fa. Oxford Instruments GmbH in Betracht.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: Q05529.4A
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Wert der Ausschreibung: 221 000,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: ja
Rang in der Liste der Gewinner: 1
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: W10-42385139
Titel: W10-42385139 System zur thermischen und plasmaunterstützten Atomlagenabscheidung für das PGI-7.
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union:
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Forschungszentrum Jülich GmbH
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Bandbreite der Angebote:
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 221 000,00 EUR
Wert des höchsten zulässigen Angebots: 221 000,00 EUR
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Forschungszentrum Jülich GmbH
Registrierungsnummer: 992-03005FZJ-26
Postanschrift: Wilhelm-Johnen -Str.
Stadt: Jülich
Postleitzahl: 52428
Land, Gliederung (NUTS): Düren (DEA26)
Land: Deutschland
Telefon: +492461612358
Fax: +492461618041
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
Organisation, aus deren Mitteln der Auftrag bezahlt wird
Organisation, die die Zahlung ausführt
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: t:0228/9499-0
Postanschrift: Villemombler Str 176
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +4922894990
Fax: +492289499163
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: HRB21599
Postanschrift: Borsigstraße 15
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 (0) 6122 937-0
Fax: +49 (0) 6122 937-190
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f4e30152-0dee-4301-8ca4-3ba98dfb7fa7 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 14/11/2025 19:35:24 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 764034-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 222/2025
Datum der Veröffentlichung: 18/11/2025