1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: Laserscanningmikroskop
Beschreibung: Beschaffung eines 3D Laserscanningmikroskops VK-X3000/X3100 der Firma Keyence Deutschland GmbH zur Oberflächen- und Topographieanalyse nanometerskaliger Strukturen sowie zur Kalibrierung eines 3D-Nanodruckers.
Kennung des Verfahrens: 49962d23-708d-4f19-8016-4876ebd7c97c
Interne Kennung: 01-WI25E1VV
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38510000 Mikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DPM4
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Laserscanningmikroskop
Beschreibung: Beschaffung eines 3D-Lasercanningmikroskops mit einem Vergrößerungsbereich von 42x bis 28880x. Das Mikroskop verfügt über diverse Standardobjektive (motorisierter Revolver mit 5x 10x 20x 50x), einem 10x Interferenz-Objektiv sowie einem hochauflösenden 150x Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,95. Das spezialisierte 3D-Laserscanningmikroksop verfügt über komplementäre Messprinzipien, bestehend aus I.) Konfokalem Laser, II.) Fokusvariation III.) Weißlichtinterferometrie und erreicht eine maximale Auflösung von 0,01 nm in z-Richtung und 0,1 nm x-y Auflösung durch ein im System integriertes Weißlichtinterferometer. Die komplementären Messprinzipien (Triple Principle Integrated) erlauben Analysen sowohl im Nanometer-, Mikrometer- und Millimeterbereich in nur einem System ohne aufwendige Umbauten. Das Laserscanningmikroskop verfügt neben der 3D-Messfähigkeit über Messmethoden eines vollwertigen Lichtmikroskops (Hell-, Dunkelfeld-, Mix-Beleuchtung und Segmente des Ringlichts steuerbar). Durch komplementäre Ringbeleuchtung, Koaxialbeleuchtung und Mix-Beleuchtung werden optimale Beleuchtungsszenarien ohne zusätzliches Equipment garantiert. Eine laserinduzierte Plasmaspektroskopieeinheit kann in dem Gerät modular nachgerüstet werden (keine zusätzliche Einheit außerhalb des Mikroskops erforderlich). Die Option der modularen Nachrüstung ist zwingend erforderlich für zukünftige Materialanalysen unter Umgebungsbedingungen. Eine Auflösung von bis zu 0,01 nm ist erforderlich, um 3D-gedruckte Nanostrukturen, abgeschiedene Dünnschichten, sowie mittels 2,5D Graustufen- und Elektronenstrahllithographie hergestellte nano-/mikroskopische Profile bzgl. Oberflächenrauigkeiten (im Nanometerbereich), Abmessungen/Kantensteilheiten- und Profile (Mikrometer- bis Millimeterbereich) auf Substraten bis zu 200 mm Durchmesser in nur einem System ohne Umbauten zu analysieren. Weiterhin werden mit diesem System Strukturierungs- und Abbildungsqualitäten und Ergebnisse konventioneller UV-Lithographiesysteme, einer Nanoimprintlithographie sowie Ätzprofile (sowohl Nass- als auch Trockenätzprozesse) von Materialien in genannten Reinraum schnell und flexibel ohne den Einsatz einer aufwendigen Rastelektronenmikroskopie mit vergleichbarer Auflösung überprüft. Das VK-X3000 umfasst einen violetten Laser, einen 16-Bit Photomultiplier, einen 5,6 MP CMOS Bildsensor, eine Betrachtungs-/Analyse- und Bildzusammensetzungssoftware, einen PC inkl. Monitor und Stromversorgung, einen Winkeltisch und einen motorisierten Objekttisch. Die Keyence Deutschland GmbH bietet als einziger Hersteller eine KI-gestützte Bedienungssoftware mit einer unbegrenzten Anzahl an Standortlizenzen sowie eine unbegrenzte Anzahl an Schulungen vor Ort.
Interne Kennung: 01-WI25E1VV
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38510000 Mikroskope
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 9 Wochen
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität
Beschreibung: Das Mikroskop verfügt über diverse Standardobjektive (motorisierter Revolver mit 5x 10x 20x 50x), einem 10x Interferenz-Objektiv sowie einem hochauflösenden 150x Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,95. Das spezialisierte 3D-Laserscanningmikroksop verfügt über komplementäre Messprinzipien, bestehend aus I.) Konfokalem Laser, II.) Fokusvariation III.) Weißlichtinterferometrie und erreicht eine maximale Auflösung von 0,01 nm in z-Richtung und 0,1 nm x-y Auflösung durch ein im System integriertes Weißlichtinterferometer. Die komplementären Messprinzipien (Triple Principle Integrated) erlauben Analysen sowohl im Nanometer-, Mikrometer- und Millimeterbereich in nur einem System ohne aufwendige Umbauten. Das Laserscanningmikroskop verfügt neben der 3D-Messfähigkeit über Messmethoden eines vollwertigen Lichtmikroskops (Hell-, Dunkelfeld-, Mix-Beleuchtung und Segmente des Ringlichts steuerbar). Durch komplementäre Ringbeleuchtung, Koaxialbeleuchtung und Mix-Beleuchtung werden optimale Beleuchtungsszenarien ohne zusätzliches Equipment garantiert. Eine laserinduzierte Plasmaspektroskopieeinheit kann in dem Gerät modular nachgerüstet werden (keine zusätzliche Einheit außerhalb des Mikroskops erforderlich). Die Option der modularen Nachrüstung ist zwingend erforderlich für zukünftige Materialanalysen unter Umgebungsbedingungen. Eine Auflösung von bis zu 0,01 nm ist erforderlich, um 3D-gedruckte Nanostrukturen, abgeschiedene Dünnschichten, sowie mittels 2,5D Graustufen- und Elektronenstrahllithographie hergestellte nano-/mikroskopische Profile bzgl. Oberflächenrauigkeiten (im Nanometerbereich), Abmessungen/Kantensteilheiten- und Profile (Mikrometer- bis Millimeterbereich) auf Substraten bis zu 200 mm Durchmesser in nur einem System ohne Umbauten zu analysieren. Weiterhin werden mit diesem System Strukturierungs- und Abbildungsqualitäten und Ergebnisse konventioneller UV-Lithographiesysteme, einer Nanoimprintlithographie sowie Ätzprofile (sowohl Nass- als auch Trockenätzprozesse) von Materialien in genannten Reinraum schnell und flexibel ohne den Einsatz einer aufwendigen Rastelektronenmikroskopie mit vergleichbarer Auflösung überprüft. Das VK-X3000 umfasst einen violetten Laser, einen 16-Bit Photomultiplier, einen 5,6 MP CMOS Bildsensor, eine Betrachtungs-/Analyse- und Bildzusammensetzungssoftware, einen PC inkl. Monitor und Stromversorgung, einen Winkeltisch und einen motorisierten Objekttisch. Die Keyence Deutschland GmbH bietet als einziger Hersteller eine KI-gestützte Bedienungssoftware mit einer unbegrenzten Anzahl an Standortlizenzen sowie eine unbegrenzte Anzahl an Schulungen vor Ort.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100,00
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Informationen über die Überprüfungsfristen: Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Siegen
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen - in dieser sehr komplexen Form an besondere Anforderungen geknüpften - Leistungen ist. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv den essentiellen Dienstbetrieb der Hochschule mit allen seinen Bereichen und damit den Teil der Daseinsfürsorge des Bildungsauftrages aufrechterhalten - mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV). Aufgrund der Beschaffung einer EFRE-geförderten Pilotlinie für integrierte Sensoren, wird ein 3D-Laserscanningmikroskop zur Prozesskontrolle und Kalibrierung technologischer Verfahren (z.B. 3D-Nanodrucker, Atomlagendepositions- und Ätzverfahren, UV-, Laser-, Elektronenstrahl-, Graustufen-, Nanoimprintlithographie) beschafft. Das System erweitert funktional die Mikroskopie des 600m2 großen INCYTE Reinraums der Universität Siegen. Durch den Einsatz des flexibel nutzbaren 3D-Laserscanningmikroskops werden neue Auflösungsbereiche ermöglicht unter Verzicht von aufwendiger, zeit- und kostenintensiver Vakuumtechnologie. Die Keyence Deutschland GmbH ist der einzige Hersteller und Vertreiber eines 3D Laserscanning-Mikroskops (VK-X3000/VK-X3100), was in einem System I.) komplementäre Messmethoden in Form von konfokaler Lochblendenoptik, Fokusvariation und Weißlichtinterferometrie für Messapplikationen im Millimeter-, Mikrometer- und Nanometerbereich unabhängig von Material und Geometrie vereint, II.) durch KI-gestützte Scan-Funktionalität eine automatische Einstellung der Laserintensität und des Höhenbereichs ermöglicht, III.) ein 150x Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,95 für maximale Vergrößerung anbietet und IV.) die Möglichkeit der modularen Nachrüstbarkeit einer laserbasierten Materialanalysieeinheit (laserinduzierte Plasmaspektroskopie) in einem geschlossenen System ermöglicht. Das 3D-Laserscanningmikroskop erreicht in Verbindung mit dem Weißlichtinterferometrie-Modul eine Auflösung bis zu 0,01 nm in z-Richtung und verfügt über Messmethoden eines vollwertigen Lichtmikroskops (Hell-, Dunkelfeld-, Mix-Beleuchtung und Segmente des Ringlichts steuerbar). Durch komplementäre Ringbeleuchtung, Koaxialbeleuchtung und Mix-Beleuchtung werden optimale Beleuchtungsszenarien ohne zusätzliches Equipment ermöglicht. Nur der 3D Laserscanning-Mikroskop (VK-X3000/VK-X3100) von Keyence verschiedene Messmethoden " integriert in einem System" vereint, was für groß- und kleinskaligen Analyse (nm - mm) notwendig ist, bestehend aus: 1.) Konfokal Laser (Lochblende) 2.) Fokusvariation mit Laser und einer Wellenlänge < 425 nm (für hohe Laterale- und Tiefenauflösung) und 1 mW Leistung 3.) Weißlichtinterferometrie (Weißlichtinterferometer integriert im System für hochpräzise 3D-Oberflächentopographie von Dünnschicht- und 2D-Materialien) 4.) laserinduzierte Plasmaspektroskopieeinheit nachrüstbar 5.) ein 150x Objekt mit 0,95 NA mit dem eine Vergrößerung von bis zu 28800x, damit man nm-genau Proben flächig analysieren können. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen - mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV).
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: KEYENCE DEUTSCHLAND GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 11746351
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Konzession – Wert:
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 01-WI25E1OV
Titel: Laserscanningmikroskop
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen
Registrierungsnummer: DE 154854171
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Stadt: Siegen
Postleitzahl: 57076
Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
Telefon: +49 271740-4867
Fax: +49 271740-14918
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Stadt: Münster
Postleitzahl: 48128
Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)
Land: Deutschland
Telefon: +49 251411-1691
Fax: +49 251411-2165
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: KEYENCE DEUTSCHLAND GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: DE 147 81 80 62
Postanschrift: De-Saint-Exupéry-Straße 3
Stadt: Frankfurt am Main
Postleitzahl: 60549
Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt am Main, Kreisfreie Stadt (DE712)
Land: Deutschland
Telefon: +49-69-65400-0
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: b76d30ec-29dc-4e69-97dc-fe7caa3f7048 - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 22/09/2025 13:45:01 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 621893-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 182/2025
Datum der Veröffentlichung: 23/09/2025