1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Forschungszentrum Jülich GmbH
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: W60-42362543
Beschreibung: Beschichtungsanlage evatec LLS EVOII für das HNF.
Kennung des Verfahrens: 81fe7f5d-b3b5-408b-a33e-e67bcf946008
Interne Kennung: W10-42362543
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 221 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Gemäß § 39 Abs. 6, Nr. 3. VgV zählt der tatsächliche Preis zu den Informationen, die den geschäftlichen Interessen des Unternehmens schaden könnten. Daher wird in dieser Bekanntmachung lediglich der Schwellenwert angegeben.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb nach § 14 Abs. 4 Nummer 2 Buchst. b VgV -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Beschichtungsanlage evatec LLS EVOII für das HNF.
Beschreibung: Beschichtungsanlage evatec LLS EVOII für das HNF.
Interne Kennung: W10-42362543
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Düren (DEA26)
Land: Deutschland
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 221 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Preis
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Preisbewertung
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Regelungen des GWB Kapitel 2 Nachprüfungsverfahren finden Anwendung.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes, Bundeskartellamt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Forschungszentrum Jülich GmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer des Bundes, Bundeskartellamt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Forschungszentrum Jülich GmbH
TED eSender: Publications Office of the European Union
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 221 000,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Auftrag betrifft die Erbringung von Luft- und Seeverkehrsdienstleistungen für im Ausland stationierte oder zu stationierende Streitkräfte eines Mitgliedstaats und genügt den strengen Vorschriften der Richtlinie
Sonstige Begründung: Aus technischen Gründen sowie aus Kompatibilitätsgründen kommt nur die Firma Evatec Europe GmbH in Aschheim-Dornach als Lieferant der benötigten Beschichtungsanlage in Frage, da nur dieser alle technischen Anforderungen des Institutes erfüllt. Nachfolgend die wesentlichen Kriterien: Das Forschungszentrum Jülich erfüllt mit der HNF die vertraglich zugesicherten Forschungsaufgaben hinsichtlich der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für alle seine Departments, für die Universitäten Aachen, Köln, Bonn und steht als Dienstleister in diesem Bereich auch allen anderen Forschungseinrichtungen weltweit offen. Das Probenaufkommen liegt derzeit bei ca. 10.000 Proben/a unterschiedlicher Größe, Dicke, Form und Material und steigt weiter. Um diese Aufgaben zu erfüllen, verfügt die HNF unter anderem über ein Sputter-Tool der Firma Oerlikon, dessen qualitativ hochwertigen Schichten für die Forschungsbereiche Neuromorphes Computing und Quantencomputing eingesetzt werden. Oerlikon hat 2015 den Geschäftsbereich in die Firma evatec ausgelagert. Daher ist evatec heute der Komplettanbieter dieser Anlage und Technologie. Um der gestiegenen Nachfrage nachzukommen und eine Versorgungssicherheit herzustellen, erweitert die HNF ihre Kapazitäten bei ihrem vertikalen Sputter-System. Die hier von der HNF adressierten Halbleitertechnologie liegt an der Grenze des Machbaren und reagiert auf Veränderungen extrem kritisch. Minimalste Veränderungen in der Konstellation der Anlage, Gasfluss, Thermik und Materialien zerstören nicht nur das Ergebnis in der Anlage, sondern auch die bisher bereits geleistete Forschung und Entwicklung aller Kooperationspartner. Um permanent konstante Ergebnisse zu liefern, arbeitet daher das Forschungszentrum mit der Technologieabteilung bzw. die Applikationsabteilung der Anlagenhersteller eng zusammen. Eingefahrene Prozesse sind daher genau spezifiziert und können nicht mehr geändert werden. Aufgrund der eingegangenen Verpflichtungen des Forschungszentrums gegenüber Dritten muss die vollständige Kompatibilität bei den Prozessen erhalten bleiben. Technische Anforderungen Die Anlage ist, auch steuerungstechnisch, „in die Jahre gekommen“. Um eine verlässliche Versorgung der genannten zukunftsträchtigen Forschungsbereiche zu gewährleisten, muss nun eine weitere Investition getätigt werden. Durch diese Erweiterung soll gleichzeitig die Technologie auf den neuesten Stand gebracht werden. Aufgrund des hohen Installationsgrades der HNF ist die Aufstellfläche begrenzt und im Wesentlichen durch den Standort der alten Anlage vorgegeben. Die zur Verfügung stehende Fläche beträgt [HxBxT [m)]: 2,1 x 1,6 x 2,8. Die Einbringung ist ebenfalls räumlich durch nicht reversible Installationen limitiert. Die Anlage muss in Bauteilen mit einer maximalen Teilegröße von [HxBxT [m)]: 2,1 x 1,6 x 2,8 einbringbar sein. Weitere Merkmale sind die spezifischen Sputtermaterialtargets ([HxB [mm)]: 400 x 145), die es ermöglicht haben, diese Prozesse zu etablieren. In der Anlage stehen hierfür drei DC/DC-gepulste Kathoden und zwei RF/DC-Kathoden zur Verfügung, sowie vier Magnet Systeme Typ "E" für Ta, Ti, Al, Nb und ein Magnet System Typ “H” für Ni. Weiterhin verfügt die Anlage über die Möglichkeit bis zu 12 Silizium Wafern (Wafergröße: 100 mm und/oder 150 mm) gleichzeitig zu prozessieren. Zur Optimierung der Prozesszeiten hilft die in die Hauptprozesskammer integrierte Cryopumpe. Nicht zuletzt ermöglicht die integrierte RF-Ätzquelle in der LoadLock-Kammer eine Vorreinigung der Wafer. Dies ist für die Erreichung der gewünschten Qualitäten unabdingbar. Wie bereits ausgeführt, muss das Prozess-Know-How, welches an der bereits vorhandenen Anlage der Firma Oerlikon über Jahre erarbeitet wurde und sich in bestehenden Prozessrezepten niederschlägt, für die jetzt laufenden Forschungsthemen erhalten bleiben. Somit muss die neue Anlage hierzu kompatibel sein. Aufgrund der eingegangenen Verpflichtungen des Forschungszentrums gegenüber Dritten, kommen hierfür nur Anlagen in Frage, die ihre Verlässlichkeit bereits im Betrieb der HNF nachgewiesen haben und die volle Kompatibilität haben zu - den komplexen Prozessabfolgen der HNF - Spezifische und etablierte Prozessergebnisse - der bereits vorhandenen Anlage der Firma Oerlikon/evatec, - zu den vorgerüsteten Warnanlagen der Firma Honeywell, - zu dem bestehenden Vakuumsystem - zu allen bestehenden Arbeitssicherheitskonzepten, Fazit Aus Gründen der Arbeitssicherheit, der Reproduzierbarkeit, der Kompatibilität zu den vorhandenen Geräten und den komplexen Prozessen, sowie aus Gründen der Synergie bei Wartung und Betrieb muss die Beauftragung des LLS-EVO-II Systems der Firma evatec erfolgen.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Evatec Europe GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: O-15667
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert der Ausschreibung: 221 000,00 EUR
Konzession – Wert:
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: W10-42362543
Titel: Beschichtungsanlage evatec LLS EVOII für das HNF.
Datum der Auswahl des Gewinners: 14/10/2024
Datum des Vertragsabschlusses: 23/10/2024
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Forschungszentrum Jülich GmbH
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Forschungszentrum Jülich GmbH
Registrierungsnummer: 992-03005FZJ-26
Abteilung: Geschäftsbereich Einkauf und Materialwirtschaft (M), Fachbereich Einkauf, Team Wissenschaft M-EW
Postanschrift: Wilhelm-Johnen-Strasse
Stadt: Jülich
Postleitzahl: 52428
Land, Gliederung (NUTS): Düren (DEA26)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Norbert Breker
Telefon: +492461-612358
Fax: +492461-618041
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes, Bundeskartellamt
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: 0228-9499-0
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Evatec Europe GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: 110806
Postanschrift: Karl-Hammerschmidt-Str. 34
Stadt: Aschheim-Dornach
Postleitzahl: 85609
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Telefon: +498975505100
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Offizielle Bezeichnung: Ralf Eichert Ralf Eichert
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland
Land: Deutschland
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: e74eeca8-787f-4313-9c4b-885250093c15 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 29/10/2024 09:44:10 (UTC)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 660417-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 212/2024
Datum der Veröffentlichung: 30/10/2024