Öffentliche Ausschreibung Stuttgart 2024 Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – FKF 2024-15 Maskenbelichtungsgerät 2024-08-20

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Max Planck Institut für Festkörperforschung

2.1.

Verfahren

Titel: FKF 2024-15 Maskenbelichtungsgerät

Beschreibung: Für die zentrale Wissenschaftliche Einrichtung Nanostrukturlabor am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung soll für Optische Lithographie ein neues Maskenbelichtungsgerät ('Mask-Aligner') beschafft werden. Dieser muss die folgenden Eigenschaften aufzuweisen:  UV-LEDs als Lichtquelle, wobei zur Belichtung der Wellenlängenbereich (i-, h- und g-Linie) wählbar und frei kombinierbar sein muss. Die Lichtintensität ist konstant zu halten.  Diverse Maskengrößen sind verwendbar: 3", 4", 6".  Die Belichtung von Substraten unterschiedlicher Formate muss möglich sein: von 4mm-auf-4mm Chip bis 6"-Wafer.  Es ist das Ausrichten auf Markierungen auf der Substratober- als auch Substratunterseite möglich.  Es stehen verschiedene Kontaktmodi zur Verfügung: 'Soft'-, 'Hard'-, 'Vacuum'- und 'Proximity'-Kontakt.  Der Keilfehlerausgleich geschieht automatisch. Der Abstand zwischen Maske und Substrat ist ggf. einstellbar.  Eine einfache 'Flood Exposure' muss möglich sein. Für dieses Basisgerät soll die Option der Erweiterung für 'Wafer Bonding' und 'Nano-imprint'-Lithographie bestehen.

Kennung des Verfahrens: 3d9040db-e87a-4786-bf3b-6e09d49473ef

Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2.

Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)

Land: Deutschland

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

5.1.

Los: LOT-0000

Titel: Maskenbelichtungsgerät

Beschreibung: Für die zentrale Wissenschaftliche Einrichtung Nanostrukturlabor am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung soll für Optische Lithographie ein neues Maskenbelichtungsgerät ('Mask-Aligner') beschafft werden. Dieser muss die folgenden Eigenschaften aufzuweisen:  UV-LEDs als Lichtquelle, wobei zur Belichtung der Wellenlängenbereich (i-, h- und g-Linie) wählbar und frei kombinierbar sein muss. Die Lichtintensität ist konstant zu halten.  Diverse Maskengrößen sind verwendbar: 3", 4", 6".  Die Belichtung von Substraten unterschiedlicher Formate muss möglich sein: von 4mm-auf-4mm Chip bis 6"-Wafer.  Es ist das Ausrichten auf Markierungen auf der Substratober- als auch Substratunterseite möglich.  Es stehen verschiedene Kontaktmodi zur Verfügung: 'Soft'-, 'Hard'-, 'Vacuum'- und 'Proximity'-Kontakt.  Der Keilfehlerausgleich geschieht automatisch. Der Abstand zwischen Maske und Substrat ist ggf. einstellbar.  Eine einfache 'Flood Exposure' muss möglich sein. Für dieses Basisgerät soll die Option der Erweiterung für 'Wafer Bonding' und 'Nano-imprint'-Lithographie bestehen.

Interne Kennung: FKF 2024-15

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2.

Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)

Land: Deutschland

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Preis

Beschreibung: Der Zuschlag wird nach § 127 GWB und § 58 Abs. 1 VgV auf das jeweils unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Maßgeblich für die Beurteilung der Wirtschaftlichkeit ist der niedrigste Gesamtangebotspreis. Wir behalten uns vor den Zuschlag, ohne Verhandlung, auf das Erstangebot zu erteilen.

5.1.15.

Techniken

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16.

Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle: Max Planck Institut für Festkörperforschung

Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Max Planck Institut für Festkörperforschung

TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

Direktvergabe:

Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist

Sonstige Begründung: Es konnte kein weiterer Anbieter gefunden werden, daher diese Ex-Ante Veröffentlichung

8.1.

ORG-0000

Offizielle Bezeichnung: Max Planck Institut für Festkörperforschung

Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen

Registrierungsnummer: DE129517720

Abteilung: Einkauf

Postanschrift: Heisenbergstr. 1

Stadt: Stuttgart

Postleitzahl: 70569

Land, Gliederung (NUTS): Stuttgart, Stadtkreis (DE111)

Land: Deutschland

Kontaktperson: Einkauf

E-Mail: einkauf@fkf.mpg.de

Telefon: 000

Internetadresse: www.fkf.mpg.de

Rollen dieser Organisation:

Beschaffer

Überprüfungsstelle

Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1.

ORG-0001

Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83

Stadt: Bonn

Postleitzahl: 53119

Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)

Land: Deutschland

E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de

Telefon: +49228996100

Rollen dieser Organisation:

TED eSender

11.1.

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 8e91efef-7831-4303-8a4a-888cd4376f76 - 01

Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe

Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung

Unterart der Bekanntmachung: 25

Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 18/08/2024 00:00:00 (UTC+2)

Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch

11.2.

Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 498974-2024

ABl. S – Nummer der Ausgabe: 161/2024

Datum der Veröffentlichung: 20/08/2024