Öffentliche Ausschreibung Siegen 2024 Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör 2024-07-03

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen

E-Mail: ausschreibungen@zv.uni-siegen.de

2.1.

Verfahren

Titel: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör

Beschreibung: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage mit umfangreichem Zubehör zur Präparation höchstqualitativer Aufsicht- und Querschnittsproben für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Ionenätzanlage wird für die Präparationslabore des hochschulzentralen, DFG-geförderten Gerätezentrums für Mikro- und Nanoanalytik (MNaF) im INCYTE-Forschungsneubau der Universität Siegen beschafft und steht den Mitgliedern der Naturwissenschaftlich-Technischen und Lebenswissenschaftlichen Fakultäten wie auch hochschulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (Cm) zur Verfügung. Das Präparationsgerät dient in den Forschungsschwerpunkten der Materialwissenschaften, der Bauelementforschung sowie der Forschung an biologischen Proben der Präparation von großflächigen Aufsichts-/Querschnitts-REM-Proben höchster Güte für weiterführende mikro- und nanoanalytische Messungen mittels REM- und Rastersondenmethoden. Die an der Universität adressierten Materialien und zu präparierenden Proben reichen von metallischen Werkstoffen der additiven Fertigung sowie Kompositwerkstoffen mit äußerst heterogenen und komplexen Gefügen über teils hochreaktive/umgebungsempfindliche Energiewandler/-speicher und verwandte Bauelemente zu integrierten Halbleiterbauelementen und Sensorprototypen. Biologische Proben wie eingebettete Insekten und organische Beschichtungen werden in der Biochemie adressiert. Aufgrund der Probenvielfalt am Gerätezentrum soll eine remote zu betreibende, hocheffiziente und im Betrieb möglichst günstige (Verbrauchsmittel, Verschleißteile) Ionenätzanlage mit möglichst breitem Einsatzspektrum beschafft werden, die die Präparation von Proben höchster Oberflächengüte z.B. für EBSD-Messungen aller adressierten kristallinen Proben erlaubt; darunter fallen vor allem auch hochreaktive/strahlempfindliche Werkstoffe am für solche Probenarten spezialisierten MNaF. - Das zu beschaffende Geräte verfügt daher nicht nur über eine umfangreiche Ausrüstung für die Probenaufnahme, Masken sowie notwendiges Zubehör für die Präparation höchst unterschiedlicher Probenarten und -geometrien (Volumen-/Folienproben) für die Aufsicht- und Querschnittspräparation. - Es erlaubt zudem die schnelle cryogene Kühlung der Proben mittels flüssigen Stickstoffs sowie den Vakuumtransfer von Proben in eine Inertgas-Glovebox, um solche Proben weiter zu Prozessieren oder aus der Glovebox möglichst schädigungsfrei in die Ionenätzanlage einzubringen. - Für die in Siegen untersuchten Bauelemente und komplexen Strukturwerkstoffe z.B. der additiven Fertigung mit Strukturvariationen auf der mm- und cm-Skala sind möglichst große realisierbare Präparationsflächen(mind. 30mm sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht ) gefordert, - die in einem breiten Energiebereich mit großer Geschwindigkeit abgetragen und bei niedrigen Ionenenergien unterhalb 1 kV poliert werden können. - Für die systematische automatisierte Präparation von Probenserien z.B in Industrieprojekten ist des Weiteren die Serienpräparation von mindestens 5 Proben mit einer Gerätebeladung gefordert, um den Personalaufwand beim Probenwechsel zu reduzieren und Arbeitsabläufe zu optimieren. - Eingebettete Standard-REM-Proben mit Durchmessern von bis zu 2“ Standardmaß müssen zur Oberflächen-Nachpolitur ins Gerät eingebracht werden können.

Kennung des Verfahrens: ea877222-c3ae-43be-b538-ce566b4b2031

Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferungen

Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

2.1.2.

Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)

Land: Deutschland

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

5.1.

Los: LOT-0000

Titel: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör

Beschreibung: Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage mit umfangreichem Zubehör zur Präparation höchstqualitativer Aufsicht- und Querschnittsproben für die Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Ionenätzanlage wird für die Präparationslabore des hochschulzentralen, DFG-geförderten Gerätezentrums für Mikro- und Nanoanalytik (MNaF) im INCYTE-Forschungsneubau der Universität Siegen beschafft und steht den Mitgliedern der Naturwissenschaftlich-Technischen und Lebenswissenschaftlichen Fakultäten wie auch hochschulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (Cm) zur Verfügung. Das Präparationsgerät dient in den Forschungsschwerpunkten der Materialwissenschaften, der Bauelementforschung sowie der Forschung an biologischen Proben der Präparation von großflächigen Aufsichts-/Querschnitts-REM-Proben höchster Güte für weiterführende mikro- und nanoanalytische Messungen mittels REM- und Rastersondenmethoden. Die an der Universität adressierten Materialien und zu präparierenden Proben reichen von metallischen Werkstoffen der additiven Fertigung sowie Kompositwerkstoffen mit äußerst heterogenen und komplexen Gefügen über teils hochreaktive/umgebungsempfindliche Energiewandler/-speicher und verwandte Bauelemente zu integrierten Halbleiterbauelementen und Sensorprototypen. Biologische Proben wie eingebettete Insekten und organische Beschichtungen werden in der Biochemie adressiert. Aufgrund der Probenvielfalt am Gerätezentrum soll eine remote zu betreibende, hocheffiziente und im Betrieb möglichst günstige (Verbrauchsmittel, Verschleißteile) Ionenätzanlage mit möglichst breitem Einsatzspektrum beschafft werden, die die Präparation von Proben höchster Oberflächengüte z.B. für EBSD-Messungen aller adressierten kristallinen Proben erlaubt; darunter fallen vor allem auch hochreaktive/strahlempfindliche Werkstoffe am für solche Probenarten spezialisierten MNaF. - Das zu beschaffende Geräte verfügt daher nicht nur über eine umfangreiche Ausrüstung für die Probenaufnahme, Masken sowie notwendiges Zubehör für die Präparation höchst unterschiedlicher Probenarten und -geometrien (Volumen-/Folienproben) für die Aufsicht- und Querschnittspräparation. - Es erlaubt zudem die schnelle cryogene Kühlung der Proben mittels flüssigen Stickstoffs sowie den Vakuumtransfer von Proben in eine Inertgas-Glovebox, um solche Proben weiter zu Prozessieren oder aus der Glovebox möglichst schädigungsfrei in die Ionenätzanlage einzubringen. - Für die in Siegen untersuchten Bauelemente und komplexen Strukturwerkstoffe z.B. der additiven Fertigung mit Strukturvariationen auf der mm- und cm-Skala sind möglichst große realisierbare Präparationsflächen gefordert, - die in einem breiten Energiebereich mit großer Geschwindigkeit abgetragen und bei niedrigen Ionenenergien unterhalb 1 kV poliert werden können. - Für die systematische automatisierte Präparation von Probenserien z.B in Industrieprojekten ist des Weiteren die Serienpräparation von mindestens 5 Proben mit einer Gerätebeladung gefordert, um den Personalaufwand beim Probenwechsel zu reduzieren und Arbeitsabläufe zu optimieren. - Eingebettete Standard-REM-Proben mit Durchmessern von bis zu 2“ Standardmaß müssen zur Oberflächen-Nachpolitur ins Gerät eingebracht werden können. Technisches Anforderungen - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - ***mind. 30mm große Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.

Interne Kennung: 02-NL24EVV

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferungen

Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

5.1.2.

Erfüllungsort

Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)

Land: Deutschland

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja

Zusätzliche Informationen: Informationen über die Überprüfungsfristen: Der Vertrag wird frühestens 10 Kalendertage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung geschlossen werden (§ 135 Abs. 3S. 1 Nr. 3 GWB).

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10.

Zuschlagskriterien

Kriterium:

Art: Qualität

Beschreibung: Technisches Anforderungen - günstige Präparationskosten pro Probe (basierend auf Kostenschätzungen der Hersteller sowie eigener Bewertung der technischen Realisierung des Ätzprozesses und der Maskengeometrie unter Berücksichtigung der Folgekosten für Verbrauchsmittel wie Blenden) - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - ***mind. 30mm große Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 von Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.

5.1.15.

Techniken

Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung

Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16.

Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster

TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

Direktvergabe:

Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist

Sonstige Begründung: Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen Leistungen ist. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv die speziellen wissenschaftlichen Forschungsarbeiten anforderungsgerecht ausführen – mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV). Notwendige technisches Anforderungen: - ***Argon-Ionenätzanlage mit Kryo-Kühlfunktion und Vakuumtransfersystem für die Querschnitt-/Aufsichtpräparation verschiedenster REM-Proben - ***eine Hochleistungs-Ar-Ionenkanone mit hoher Abtragsrate (Si-Abtragsrate >= 1000 µm/h) und breitem Primärenergiebereich von mindestens 500 eV – 8 keV - vollständige Ausrüstung für den fernüberwachten Remotebetrieb zur Prüfung des Ätzfortschritts sowie zur Kontrolle des Ätzprozesses (von anderen Standorten aus) (beinhaltet nicht nur Softwaresteuerung, sondern auch Mikroskop/Kamera zur Probenbewertung) - die Mindestgröße von 30mm von Breite des Präparationsfeldes bei Einzelproben (Bauelemente, additiv gefertigte Bauteile) - ***minimale Oberflächenartefakte wie Curtaining durch qualifizierte Orientierungsmodulation der Probe während des Ätzvorgangs - ***mind. 5 Proben bei sequenzieller Mehrfachpräparation von Probenserien mit einer Gerätebeladung (Einsparung von Personalaufwand) - ***Notwendiges Zubehör wie Probenhalter zur Aufnahme von möglichst großen Probenblöcken (großen zu präparierenden Stirnflächen) und Folien für die Querschnittspräparation sowie von eingebetteten REM-Proben von bis zu 2“ Durchmesser; Probenhalter zur Präparation unter kryogenen Bedingungen; Probenhalter zur sequenziellen Mehrfachpräparation mit einer Gerätebeladung; Masken zur Probenpräparation Neben den notwendigen Grundfunktionalitäten (auch Kühlen, Vakuumtransfer) spielten bei der Entscheidungsfindung vor allem die erreichbare Probengüte, die Mindestgröße von 30mm von Präparationsflächen sowohl im Querschnitt wie auch in Aufsicht sowie maximale Größen einsetzbarer Proben entscheidende Rollen.

8.1.

ORG-0000

Offizielle Bezeichnung: Universität Siegen

Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen

Registrierungsnummer: DE:154854171

Postanschrift: Universität Siegen

Stadt: Siegen

Postleitzahl: 57076

Land, Gliederung (NUTS): Siegen-Wittgenstein (DEA5A)

Land: Deutschland

E-Mail: ausschreibungen@zv.uni-siegen.de

Telefon: +4902717404869

Rollen dieser Organisation:

Beschaffer

8.1.

ORG-0001

Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster

Registrierungsnummer: 05515-03004-07

Stadt: Münster

Postleitzahl: 48128

Land, Gliederung (NUTS): Münster, Kreisfreie Stadt (DEA33)

Land: Deutschland

E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de

Telefon: +49 251411-1691

Rollen dieser Organisation:

Überprüfungsstelle

8.1.

ORG-0002

Offizielle Bezeichnung: Hitachi High-Tech Europe GmbH

Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen

Registrierungsnummer: DE 121640503

Stadt: Krefeld

Postleitzahl: 47807

Land, Gliederung (NUTS): Krefeld, Kreisfreie Stadt (DEA14)

Land: Deutschland

E-Mail: robert.steffen.rs@hitachi-hightech.com

Telefon: +49-2151-643-50

Rollen dieser Organisation:

Bieter

Federführendes Mitglied

8.1.

ORG-0003

Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83

Stadt: Bonn

Postleitzahl: 53119

Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)

Land: Deutschland

E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de

Telefon: +49228996100

Rollen dieser Organisation:

TED eSender

11.1.

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: a831dc8f-d553-4f0f-ac48-9faa916775e2 - 01

Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe

Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung

Unterart der Bekanntmachung: 25

Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 02/07/2024 00:00:00 (UTC+2)

Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch

11.2.

Informationen zur Veröffentlichung

Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 396256-2024

ABl. S – Nummer der Ausgabe: 128/2024

Datum der Veröffentlichung: 03/07/2024