lieferung eines ANALYTICAL HIGH RESOLUTION – SCANNING/TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE (AHR-S/TEM) AM KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE (KIT), LABORATORIUM FÜR ELEKTRONENMIKROSKOPIE (LEM)
Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Nationale Identifikationsnummer: de266749428
Postanschrift: Campus Nord Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
Ort: Eggenstein-Leopoldshafen
NUTS-Code: DE123 Karlsruhe, Landkreis
Postleitzahl: 76344
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Karl-Heinz Graessle
E-Mail:
Telefon: +49 721/608-25308
Fax: +49 721/608-25982
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.kit.edu
Abschnitt II: Gegenstand
lieferung eines ANALYTICAL HIGH RESOLUTION – SCANNING/TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE (AHR-S/TEM) AM KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE (KIT), LABORATORIUM FÜR ELEKTRONENMIKROSKOPIE (LEM)
Belichtungssystem für die optische Lithografie, das
mittels UV-Belichtung von Fotolacken im direktschreibenden, maskenfreien Verfahren
die Herstellung von Mikro- und Submikrometerstrukturen erlaubt, aber auch für die
Herstellung von Masken für andere optische Belichtungsverfahren wie das
Maskaligning geeignet ist.
Lieferung und Inbetriebnahme eines Belichtungssystem für die optische Lithografie, das
mittels UV-Belichtung von Fotolacken im direktschreibenden, maskenfreien Verfahren
die Herstellung von Mikro- und Submikrometerstrukturen erlaubt, aber auch für die
Herstellung von Masken für andere optische Belichtungsverfahren wie das
Maskaligning geeignet ist.
Abschnitt IV: Verfahren
- Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie
Verhandlungsverfahren bedingt durch nachfolgend Alleinstellungsmerkmal
Im Einzelnen zeichnet sich das Laser-Lithografiegerät „DWL66+“ der Fa. Heidelberg Instruments Mikrotechnik
GmbH durch folgende Alleinstellungsmerkmale aus:
1. Die hohe Laserleistung ermöglicht hohe Schreibgeschwindigkeiten.
2. Zwei unabhängige Autofokussystem stehen zur Verfügung, die ein zuverlässiges und reproduzierbares
Fokussierung unabhängig von den optischen Eigenschaften der verwendeten Fotolacke und Substrate
gewährleisten.
3. Das eingebaute Kamerasystem ermöglicht die Ausrichtung des Substrates anhand von Markierungen mit
einer Genauigkeit von 100nm.
4. Im hochauflösenden Modus „HiRes“ steht zur Adressierung von Strukturen ein Rastergitter von 5nm zur
Verfügung.
Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
Nationale Identifikationsnummer: de143445073
Ort: Heidelberg
NUTS-Code: DE125 Heidelberg, Stadtkreis
Postleitzahl: 69123
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Karl-Friedrich-Straße 17
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76133
Land: Deutschland
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Die Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens kann bei der in Ziff. VI.4.1) genannten Vergabekammer beantragt werden. Das Verfahren vor der Vergabekammer richtet sich nach den §§ 155 ff GWB. Nach § 160 GWB gilt: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbe-achtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu ent-stehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt,
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht ab-helfen zu wollen, vergangen sind.
Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Ab-satz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Nach § 161 GWB gilt: (1) Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und un-verzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohn-sitz oder gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung im Geltungsbereich dieses Gesetzes hat einen Empfangsbevollmächtigten im Geltungsbereich dieses Gesetzes zu benennen. (2) Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten benennen.
Postanschrift: Karl-Friedrich-Straße 17
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76133
Land: Deutschland