MLA150 Maskless Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: keine
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Leo-Brandt-Strasse
Ort: Jülich
NUTS-Code: DE Deutschland
Postleitzahl: 52425
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 2461612467
Fax: +49 2461618041
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.fz-Juelich.de
Abschnitt II: Gegenstand
MLA150 Maskless Aligner
MLA150 Maskless Aligner
Forschungszentrum Jülich
MLA150 Maskless Aligner
Abschnitt IV: Verfahren
- Die betreffenden Erzeugnisse werden gemäß den in der Richtlinie genannten Bedingungen ausschließlich für Forschungs-, Versuchs-, Untersuchungs- oder Entwicklungszwecke hergestellt
Das Forschungszentrum Jülich erfüllt mit der HNF die vertraglich zugesicherten Forschungsaufgaben hinsichtlich der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen für alle seine Departments, für die Universitäten Aachen, Köln, Bonn und steht als Dienstleister in diesem Bereich auch allen anderen Forschungseinrichtungen weltweit offen. Das Probenaufkommen liegt derzeit bei ca. 10.000 Proben/a unterschiedlicher Größe, Dicke, Form und Material pro Jahr und steigt weiter. Um diese Aufgaben zu erfüllen verfügt die HNF über drei Lasern Patern Generatoren der Firma Heidelberg Instruments, die ebenfalls im Mix und Match mit den beiden an der HNF vorhandenen Elektronenstrahlanlagen der Firma Vistec/Raith arbeiten.
Die Kombination der Anlagen bildet das Rückgrad für alle komplexen Lithographieprozesse, die die einzelnen Proben mehrfach durchlaufen müssen. Um das steigenden Probeaufkommen zu bewältigen beabsichtigt daher die HNF, die Geräte mit einem weiteren Laser Pattern Generator zu erweitern.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
MLA150 Maskless Aligner
Postanschrift: Mittelgewannweg 27
Ort: Heidelberg
NUTS-Code: DE Deutschland
Postleitzahl: 69123
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland