Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
I.1)Name und AdressenOffizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Postanschrift: Pfaffenwaldring 38-40
Ort: Stuttgart
NUTS-Code:
DE11 StuttgartPostleitzahl: 70569
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse(n): Hauptadresse:
http://www.DLR.de I.4)Art des öffentlichen AuftraggebersAndere: Forschungszentrum
I.5)Haupttätigkeit(en)Andere Tätigkeit: orschung im Bereich Luft-, Raumfahrt, Energie, Verkehr und Sicherheit
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: II.1.2)CPV-Code Hauptteil38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des AuftragsLieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Zur schonenden Oberflächenätzung, und Oberflächenterminierung wird ein Anlagencluster bestehend aus einem Anlagenteil zum Atomic Layer Etching (ALE), und einem Anlagenteil zur Atomic Layer Deposition (ALD) benötigt.
II.1.6)Angaben zu den LosenAufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)ErfüllungsortNUTS-Code: DE144 Ulm, Stadtkreis
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Zur schonenden Oberflächenätzung, und Oberflächenterminierung wird ein Anlagencluster bestehend aus einem Anlagenteil zum Atomic Layer Etching (ALE), und einem Anlagenteil zur Atomic Layer Deposition (ALD) benötigt. Das Anlagencluster muss damit die Ätzung von Si, SiO2, Al2O3, TiO2, HfO2, SiC, GaN, GaAs, SiN und SiC ermöglichen und muss zudem für Experimente zur Entwicklung der schonenden Ätz- und Terminierungsprozesse für Diamant geeignet sein. Gleichzeitig muss das Anlagencluster in der Lage sein, atomlagengenau Passivierungsschichten auf Diamant und auf anderen Substraten abzuscheiden. Das Anlagencluster muss in der Lage sein Al2O3, AlN, AlF3, TiO2, HfO2, ZnO, und SiO2 abzuscheiden. Die Beladung der beiden Prozesskammern muss jeweils über ein Loadlock vorzunehmen sein.
II.2.5)ZuschlagskriterienPreis
II.2.11)Angaben zu OptionenOptionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen UnionDer Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)VerfahrensartAuftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- aufgrund des Schutzes von ausschließlichen Rechten einschließlich Rechten des geistigen Eigentums
Erläuterung:
Es liegen mehrere Patente vor:
EP3139403B1
EP2377243B1
EP2881981B1
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation
Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:27/10/2023
V.2.2)Angaben zu den AngebotenAnzahl der eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurdeOffizielle Bezeichnung: OXFORD Instruments GmbH / Plasma Technology
Ort: Wiesbaden
NUTS-Code: DE714 Wiesbaden, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/NachprüfungsverfahrenOffizielle Bezeichnung: Federal Public Procurement Tribunals (Vergabekammer des Bundes)
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:27/10/2023