XeF2-Gasphasenätzer IZHH
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Linder Höhe
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA23 Köln, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 51147
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Sonja Lehmberg
E-Mail:
Telefon: +49 228/215290
Fax: +49 228/215491
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
Abschnitt II: Gegenstand
XeF2-Gasphasenätzer IZHH
Beschaffung einer Anlage zum XeF2-basierten Gasphasenätzen zur Ausstattung des Innovationszentrums Hamburg (IZHH) des DLR im Rahmen der Quantencomputing-Initiative einschließlich Lieferung, Einbringung in die Laborräumlichkeiten des
Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation sowie anschließendem Service/
Wartung.
DLR-Standort Innovationszentrum Hamburg (im Aufbau)
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut.
Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm.
Zur Strukturierung von Si-Schichten soll eine Anlage zum XeF2-basierten Gasphasenätzen beschafft werden. Mit diesem Verfahren sollen unter anderem Si-Schichten isotrop auf 150 mm Wafern in einem trockenen Verfahren geätzt werden, zum Beispiel zur Hinterätzung von als Maske fungierenden Schichten oder als Release-Ätzung.
Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Nachweis der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister. Der Nachweis wird erbracht durch einen aktuellen (d.h. zum Zeitpunkt des Ablaufs der Angebotsfrist nicht älter als drei Monate) Registerauszug oder ein vergleichbares aktuelles Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender aktueller Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.
Im Fall der Abgabe eines Angebotes durch eine Bietergemeinschaft ist der betreffende Nachweis für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen.
Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
1. Eigenerklärung über den Umsatz der vergangenen drei Geschäftsjahre.
Für neu gegründete Unternehmen sind nur die Umsätze der vorzuweisenden Geschäftsjahre anzugeben, und es ist eine Prognose (Businessplan) über die Umsätze der kommenden Geschäftsjahre abzugeben.
Im Fall der Abgabe eines Angebotes durch eine Bietergemeinschaft ist die Erklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen.
Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist die Erklärung auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
2. Nachweis einer Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung.
Der Nachweis wird erbracht durch die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder eine schriftliche Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der vorstehenden Mindestanforderung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein.
Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen. Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis bzw. die betreffende
Erklärung auch für jedes vorgesehene eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Mindestanforderung zu 2.:Als Mindestanforderung gilt, dass die Versicherung eine Deckungssumme je Versicherungsfall in Höhe von mindestens 3 Mio. € für Personenschäden und 3 Mio. € für Sach- und Vermögensschäden aufweisen muss.
1. Erklärung zur Mitarbeiterentwicklung der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre.
Neu gegründete Unternehmen, die noch keine drei Geschäftsjahre abgeschlossen haben bzw. noch nicht am Markt etabliert sind, geben die Mitarbeiterzahlen der letzten Jahre bzw. Monate nach Gründung an.
Im Fall der Abgabe eines Angebotes durch eine Bietergemeinschaft ist die Erklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen.
Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist die Erklärung auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
2. Benennung von vergleichbaren Referenzprojekten in Bezug auf die Herstellung und den Betrieb der spezifizierten Anlage.
Im Fall der Abgabe eines Angebotes durch eine Bietergemeinschaft werden die nachgewiesenen Referenzen der Mitglieder der Bietergemeinschaft insgesamt in die Wertung einbezogen. Insofern ist anzugeben, welches Mitglied der Bietergemeinschaft Inhaber der Referenz ist.
Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, werden auch die nachgewiesenen Referenzen des/der eignungsverleihenden Unternehmen(s) in die Wertung einbezogen. Es ist insofern der Name des eignungsverleihenden Unternehmens anzugeben, welches Inhaber der Referenz ist.
3. Nachweis eines Qualitätsmanagements. Der Nachweis kann wie folgt erbracht werden:
- entweder durch Vorlage eines gültigen Zertifikats gemäß DIN EN ISO 9001
- oder durch Vorlage einer gleichwertigen Zertifizierung auf Basis einer mit der DIN EN ISO 9001 vergleichbaren Norm.
Im Fall der Abgabe eines Angebotes durch eine Bietergemeinschaft ist der Nachweis durch jedes Mitglied der Bietergemeinschaft zu führen.
Bei Angeboten, in denen eine Eignungsleihe in Bezug auf die technische und berufliche Leistungsfähigkeit vorgesehen ist, ist der betreffende Nachweis auch für jedes eignungsverleihende Unternehmen einzureichen.
Mindestanforderung zu 2.: Es sind mindestens 3 vergleichbare Referenzen einzureichen.
1. Mit dem Angebot ist nachzuweisen, dass der Bieter oder ein für die Auftragsausführung vorgesehenes Drittunternehmen nicht wegen eines Verstoßes nach § 21 MiLoG mit einer Geldbuße von wenigstens zweitausendfünfhundert Euro belegt worden sind. Hierfür ist eine entsprechende Eigenerklärung abzugeben. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist die Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen
vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung einzureichen.
2. Mit dem Angebot ist zudem nachzuweisen, dass im Unternehmen des Bieters Sozialstandards eingehalten werden, die an den Kernarbeitsnormen der International Labour Organization (ILO) orientiert sind. Im Fall der Bewerbung einer Bietergemeinschaft ist eine entsprechende Eigenerklärung für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft einzureichen. Sind Drittunternehmen als Unterauftragnehmer und/oder eignungsverleihende Unternehmen vorgesehen, ist für die betreffenden Unternehmen jeweils eine entsprechende Eigenerklärung
einzureichen.
3. Vor dem Hintergrund eines geltenden Zuschlagsverbotes in Vergabeverfahren für Bieter mit (unmittelbarem oder mittelbarem) Russlandbezug ist mit dem Angebot von jedem Bieter/ Mitglied einer Bietergemeinschaft zudem eine Erklärung abzugeben, dass kein entsprechender Bezug besteht.
4. Für die Auftragsausführung gelten im Übrigen die Besonderen Einkaufsbedingungen des DLR, die den Vergabeunterlagen beigefügt sind.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Zusätzlich zu den unter Ziff. III.1.1) bis III.1.3) der vorliegenden Bekanntmachung aufgelisteten Eignungsnachweisen ist mit dem Angebot von jedem Bieter durch Abgabe einer Eigenerklärung das Nichtvorliegen zwingender und fakultativer Ausschlussgründe gemäß §§ 123, 124 GWB nachzuweisen. Bei einer Bietergemeinschaft ist die Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorzulegen. Soweit sich der Bieter bzw. die Bietergemeinschaft zur Herstellung seiner/ihrer wirtschaftlichen und finanziellen oder technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit ganz oder teilweise auf die Kapazitäten eines anderen Unternehmens beruft (Eignungsleihe), ist die Erklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen auch von diesen Unternehmen vorzulegen.
Darüber hinaus ist bei der Einschaltung von anderen Unternehmen zur Herstellung der Eignung zu beachten, dass der Bieter nach § 47 Abs. 1 S. 1 VgV nachweisen muss, dass ihm die erforderlichen Mittel bei der Erfüllung des Auftrags zur Verfügung stehen. Dieser Nachweis ist – ungeachtet der bestehenden rechtlichen Verbindungen zum Bieter – durch eine entsprechende Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens zu führen.
Das Angebot sowie sämtliche hiermit einzureichenden Nachweise und Erklärungen sind in deutscher Sprache einzureichen. Bei fremdsprachigen Bescheinigungen ist eine Übersetzung in deutscher Sprache beizufügen.
Der Auftraggeber behält sich vor, sich Eigenerklärungen des Bieters durch entsprechende Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigen zu lassen.
Alternativ zu den geforderten Eigenerklärungen akzeptiert der Auftraggeber auch die Vorlage einer – mit den entsprechenden Angaben ausgefüllten – Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung (EEE) oder eines Präqualifizierungszertifikates.
Für das Angebot sind – soweit vorgesehen – die den Vergabeunterlagen beigefügten Formblätter des Auftraggebers zu verwenden, welche über den in Ziff. I.3) der vorliegenden Bekanntmachung benannten Link gebührenfrei selbst abgerufen werden können.
Alle angeforderten Nachweise und Erklärungen sind Teil des Angebotes und mit dem Angebot vorzulegen.
Sollten mit einem Angebot Nachweise oder Erklärungen bis zum Ablauf der Angebotsfrist nicht oder nicht vollständig vorgelegt worden sein, behält sich der Auftraggeber die Nachforderung der fehlenden Erklärungen und Nachweise unter Setzung einer angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vor.
Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen. Preisangaben können nur nachgefordert werden, wenn es sich um unwesentliche Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen (§ 56 Abs. 3 VgV). Werden die fehlenden Nachweise und Erklärungen nicht innerhalb der Nachforderungsfrist eingereicht, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV). Die Frist zur Nachreichung beginnt am Tage nach Absendung der Nachforderung.
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 22894990
Fax: +49 2289499163
Internet-Adresse: http://www.bundeskartellamt.de
Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit
• der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der
Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
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