Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
I.1)Name und AdressenOffizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Postanschrift: Linder Höhe
Ort: Köln
NUTS-Code:
DEA23 Köln, Kreisfreie StadtPostleitzahl: 51147
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 2203/601-5184
Internet-Adresse(n): Hauptadresse:
http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html I.3)KommunikationWeitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen AuftraggebersAndere: Forschungseinrichtung
I.5)Haupttätigkeit(en)Andere Tätigkeit: Forschungseinrichtung
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Sputter Anlage | Reinraum IZ HH
II.1.2)CPV-Code Hauptteil38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des AuftragsLieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klas-sische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den LosenAufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)ErfüllungsortNUTS-Code: DE Deutschland
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Anlage zum Magnetronsputtern benötigt. Hiermit sol-len verschiedene Multilagen-Systeme auf 150 mm Substraten abgeschieden werden. Um einen Bruch der Vakuumatmosphäre zwischen den einzelnen Prozessschritten zu vermeiden, wird eine Prozesskammer mit mehreren Sputterquellen benötigt.
II.2.5)ZuschlagskriterienDie nachstehenden Kriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualität / Gewichtung: 30 %
Qualitätskriterium - Name: Service und Lieferung / Gewichtung: 20 %
Preis - Gewichtung: 50 %
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen BeschaffungssystemsLaufzeit in Monaten: 24
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/AlternativangeboteVarianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu OptionenOptionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen UnionDer Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder HandelsregisterAuflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
Handelsregisterauszug nicht älter als 3 Monate bei Einreichung des Angebots
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle LeistungsfähigkeitEignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.1.3)Technische und berufliche LeistungsfähigkeitEignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
vgl. Leistungsbeschreibung Anlage 02 sowie die Vergabeunterlagen
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches PersonalVerpflichtung zur Angabe der Namen und beruflichen Qualifikationen der Personen, die für die Ausführung des Auftrags verantwortlich sind
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)VerfahrensartOffenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder TeilnahmeanträgeTag: 23/11/2023
Ortszeit: 14:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des AngebotsDas Angebot muss gültig bleiben bis: 15/12/2023
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der AngeboteTag: 23/11/2023
Ortszeit: 14:15
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des AuftragsDies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen ArbeitsabläufenAufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die Zahlung erfolgt elektronisch
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/NachprüfungsverfahrenOffizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 22894990
Fax: +49 2289499163
Internet-Adresse:
http://www.bundeskartellamt.de VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:23/10/2023