Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Postanschrift: Linder Höhe
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA23 Köln, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 51147
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Sonja Lehmberg
E-Mail:
Telefon: +49 228/215290
Fax: +49 228/215491
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
Adresse des Beschafferprofils: http://www.dlr.de/

Andere: Forschungseinrichtung

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Galvanik IZHH

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - RC03

Lieferauftrag

Beschaffung einer Prozessanlage Galvanik zur Ausstattung des Innovationszentrums Hamburg des DLR im Rahmen der Quantencomputing-Initiative einschließlich Lieferung, Einbringung in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung, Erstbefüllung der Galvanikbäder mit Elektrolyten gemäß Spezifikation sowie anschließendem Service/Wartung.

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

NUTS-Code: DE60 Hamburg

Hauptort der Ausführung:

DLR-Standort Innovationszentrum Hamburg (in Planung/Aufbau)

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt.

Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem die Beschichtung von Metallschichten auf Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm.

Zu liefern ist eine Prozessanlage Galvanik, die der Herstellung von mikrometerdicken Metallfilmen auf strukturierten oder planaren Substraten von bis zu 150 mm Durchmesser dienen soll. Die Anlage soll für die strombasierte Abscheidung von Gold (Au), Kupfer (Cu) und Zinn (Sn) konzipiert werden, wobei die drei Prozesse zeitgleich zur Verfügung stehen. Als Schichtdicken werden je nach Metall 1 µm bis 50 µm angestrebt.

Die Bearbeitung der Wafer erfordert eine partikelfreie und sichere Umgebung die durch ein geeignete Laminarflowbank mit Abluftabzug in der Arbeitsfläche gewährleistet wird. Für den Arbeitsschutz und zur Reduktion der benötigten Abluftmenge im Betrieb soll die Arbeitsbank der Galvanikanlage als Chemikalienabzug (Digestorium) mit integrierten Zuluftfiltereinheiten (Fan Filter Unit FFU) und beweglicher Frontscheibe ausgeführt werden. Die Anlage wird in einem Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt und betrieben.

Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme, eine Schulung sowie die Erstbefüllung der Galvanikbäder mit Elektrolyten gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Qualitätskriterium - Name: Qualität der Prozessanlage Galvanik / Gewichtung: 30%

Qualitätskriterium - Name: Service und Lieferung / Gewichtung: 20%

Preis - Gewichtung: 50%

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

Offenes Verfahren

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 145-464348

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 228-94990
Fax: +49 228-9499163
Internet-Adresse: http://www.bundeskartellamt.de

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit

• der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat,

• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

• mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungs-verfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.

Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 228-94990
Fax: +49 228-9499163
Internet-Adresse: http://www.bundeskartellamt.de

04/10/2023