Aufdampf-Anlage“ | Innovationszentrum Hamburg QC-i
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Linder Höhe
Ort: Köln
NUTS-Code: DEA23 Köln, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 51147
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 2203/601-5184
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html
Abschnitt II: Gegenstand
Aufdampf-Anlage“ | Innovationszentrum Hamburg QC-i
Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.
Hamburg
Beschreibung | Beschaffung Aufdampf-Anlage
Für die Abscheidung metallischer Dünnschichten wird eine Aufdampf-Anlage benötigt. Das aufzutragende Material wird über einen Elektronenstrahlverdampfer verdampft und auf 150 mm Substraten abgeschieden. Der Prozess soll unter anderem die LiftOff-Strukturierung über Abscheidung auf vorstrukturierten Lackmasken unterstützen.
Auftragsgegenstand
• Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung
• Service und Wartung gemäß Spezifikation
Details: Siehe Anlage 02_LB_AufdampfAnlage
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Siehe Teilnahmebedingungen in Anlage 01 sowie Einkaufsbedingungen in Anlage 03 der Ausschreibungsunterlagen
Siehe Ausschreibungsunterlagen
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 22894990
Fax: +49 2289499163
Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit
• der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nach-prüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.