Herstellung und Lieferung von 3 Ersatz-Diffusionsöfen als Stack für das HNF. Referenznummer der Bekanntmachung: W60/42318138
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jülich
NUTS-Code: DEA26 Düren
Postleitzahl: 52428
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.fz-juelich.de
Adresse des Beschafferprofils: http://www.fz-juelich.de/portal/DE/Service/Beschaffungen/Ausschreibungen/_node.htm
Abschnitt II: Gegenstand
Herstellung und Lieferung von 3 Ersatz-Diffusionsöfen als Stack für das HNF.
Herstellung und Lieferung von 3 Ersatz-Diffusionsöfen als Stack für das HNF.
Forschungszentrum Jülich GmbH, Jülich
Herstellung und Lieferung von 3 Ersatz-Diffusionsöfen als Stack für das HNF.
Abschnitt IV: Verfahren
- Die betreffenden Erzeugnisse werden gemäß den in der Richtlinie genannten Bedingungen ausschließlich für Forschungs-, Versuchs-, Untersuchungs- oder Entwicklungszwecke hergestellt
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Für den benötigten Leistungsgegenstand kommt aus technischen Gründen nur oben genannter Lieferant in Frage:
- Der einzige bekannte Ofen, der aufgrund seiner ultrakompakten Baugröße im Labor des HNF am vorgesehenen Platz als Stack installiert werden kann
- Dieser Ofen hat seine Verlässlichkeit bereits in Forschungseinrichtungen kooperierender Institute nachgewiesen.
Das System dieses Lieferanten ist das einzige System, das die folgenden Anforderungen in einer einzige Vakuumkammer kombineren kann:
1. Fünf 2-Zoll-Quellen mit konfokalem Sputtering
2. Eine 3-Zoll-Quelle für direktes Sputtern mit geringem Arbeitsabstand (75 mm)
3. Sechs Elektronenstrahl-Quelle
4. Basisdruck < 5 *10^-9 Torr
5. Substrat Rotation und Erwärmung bis mindestens 800 °C während des Sputterns
6. Substratverkippung während Verdampfung
7. Substratvorspannungs-möglichkeit, sowohl RF als auch DC
Darüber hinaus besteht nur bei diesem System eine
8. Kompatibilität mit dem In-Situ-Tiegelwechsel, ohne dabei eine separate Vakuumkammer zu benotigen und
9. das System bietet eine atmosphärische Kamera mit Display, die auf einem Sichtfenster montiert ist, um eine sichere Betrachtung der Tiegelschmelze während des Beschichtungsprozesses zu ermöglichen.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Herstellung und Lieferung von 3 Ersatz-Diffusionsöfen als Stack für das HNF.
Ort: Scotts Valley, Ca - USA
NUTS-Code: US United States
Postleitzahl: 95066
Land: Vereinigte Staaten
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.bundekartellamt.de