Öffentliche Ausschreibung Köln 2026 Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – DRIE-Anlage

1. Beschaffer

1.1.

Beschaffer

Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

E-Mail: evergabe@dlr.de

Rechtsform des Erwerbers: Gruppe öffentlicher Stellen

Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung

2. Verfahren

2.1.

Verfahren

Titel: DRIE-Anlage

Beschreibung: Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Kennung des Verfahrens: 8372bb9d-9a8f-482f-8b4a-4326b6d12adf

Interne Kennung: ELVIS-ID E36312695

Verfahrensart: Offenes Verfahren

Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

2.1.2.

Erfüllungsort

Postanschrift: Reinraum Universität Ulm Albert-Einstein-Allee 45

Stadt: Ulm

Postleitzahl: 89081

Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144)

Land: Deutschland

2.1.4.

Allgemeine Informationen

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

vgv -

2.1.6.

Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Zahlungsunfähigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Betrug: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Korruption: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

5. Los

5.1.

Los: LOT-0001

Titel: DRIE-Anlage

Interne Kennung: LOT-0001 422/2026/9162803

5.1.1.

Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen

Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

5.1.2.

Erfüllungsort

Postanschrift: Reinraum Universität Ulm Albert-Einstein-Allee 45

Stadt: Ulm

Postleitzahl: 89081

Land, Gliederung (NUTS): Ulm, Stadtkreis (DE144)

Land: Deutschland

5.1.3.

Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit: Unbekannt

5.1.6.

Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme:

Teilnahme ist nicht vorbehalten.

Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert

Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein

Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7.

Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9.

Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung

Kriterium: Eintragung in das Handelsregister

Beschreibung des Auswahlkriteriums: Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.

Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung

Beschreibung des Auswahlkriteriums: Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der Bekanntmachung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen.