1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Heidelberg
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Vergabeverfahren zur Lieferung eines Ionenstrahlschreibers
Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung eines Ionenstrahlschreibers
Kennung des Verfahrens: ad96fded-3ed1-4fe3-8fdf-02cabe21475b
Interne Kennung: Uni-HD.2025.934_Ionenstrahlschreiber_KIP
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69120
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVYMAG
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Vergabeverfahren zur Lieferung eines Ionenstrahlschreibers
Beschreibung: Beschafft werden soll ein focused ion beam (FIB) system, welches sowohl für Miling, Implantation wie auch für Lithographie Prozesse benutzt werden kann. Für wissenschaftliche Zwecke soll das Gerät Lithographie Prozesse mit sowohl Au, Ge und Si Ionen ausführen können. Fortgeschrittene, automatisierte Lithographie soll das Schreiben komplexer Designs ermöglichen und Strahlstabilität über Nacht muss gewährleistet sein. Das Gerät soll von einer einzigen Software gesteuert werden können, wobei sowohl eine Windows-kompatible GUI wie auch eine Python API verfügbar stehen soll. Zum Auftrag gehören neben dem Gerät ein Raum-Gutachten, Installation und Abnahme des Systems vor Ort. Mindestens 5 Tage Training vor Ort müssen ermöglicht werden.
Interne Kennung: Uni-HD.2025.934_Ionenstrahlschreiber_KIP
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69120
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 3 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Alleinstellung
Beschreibung: Es handelt sich bei diesem Auftrag um ein Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb. Auf Grund von Alleinstellungsmerkmalen kommt nur ein Unternehmen für die Beauftragung in Betracht, weshalb etwaige Zuschlagskriterien in diesem Fall nicht angewendet werden können.
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Es handelt sich bei diesem Auftrag um ein Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb. Auf Grund von Alleinstellungsmerkmalen kommt nur ein Unternehmen für die Beauftragung in Betracht, weshalb etwaige Zuschlagskriterien in diesem Fall nicht angewendet werden können.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Heidelberg
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers
Begründung für eine spätere Veröffentlichung: Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen. Daher wird der Angebotspreis nicht veröffentlicht.
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Zur Umsetzung von Forschungsvorhaben, welche umfassen: 1. die Implantation von Silizium und Germanium Ionen in Diamant zur Kreation von Gruppe-IV-Defekten in photonischen Resonatoren, wobei eine automatisierte Ausrichtung an den vorhandenen Strukturen sowie eine Präzision von <40nm erfordert wird. 2. das periodische Polen von Lithiumniobat-strukturen mithilfe schwerer Gold Ionen, wobei die Polperioden unterhalb eines Mikrometers liegen und daher die Bestrahlung eine hohe Präzision im Nanometerbereich aufweisen muss. 3. Trimmen von photonischen Hardwarebeschleunigern nach der Herstellung. Photonische Schaltkreise aus Siliziumnitrid lassen sich durch Implantation von nichtabsorbierendem (bei Telecom-Wellenlängen) Silizium trimmen, wodurch Fabrikationsimperfektionen ausgeglichen werden. Dies bedarf der Ausrichtung an vorhandenen Strukturen, sowie einem hohen Grad an Automatisierbarkeit. 4. Die Limitationen von Elektronenstrahllithographie im Bereich der Herstellung integrierter Photonik sollen durch Forschung an Ionenstrahllithographie überwunden werden. Ionen besitzen eine kürzere Wellenlänge und sind somit zu höherer Auflösung fähig. Große Schaltkreise benötigen hierfür nahtlose Schreibfeldübergänge und automatisierte Routinen. Hierbei werden auch eingebettete Wellenleiter durch Siliziumimplantation erzeugt werden Das benötigte Gerät "Velion S FIB" von Raith ist das einzig uns bekannte Gerät, welches unsere Anforderungen an eine FIB für Lithographie und Milling Prozesse erfüllt. Die Alleinstellung erfolgt aufgrund folgender Spezifikationen, die notwendigerweise erfüllt sein müssen. Für Implantationsprozesse werden verschiedene Ionen benötigt, die Gold, Silizium und Germanium umfassen müssen. Für Anwendungen, welche Implantation zweier verschiedener Ionenspezien (z.B. Silizium & Germanium) bedürfen, muss ein störungsfreier Wechsel der Ionenspezies während des Prozesses möglich sein. Für Lithographie Prozesse ist entsprechende Software mit GDSII-Kompatibilität benötigt sowie eine Python Schnittstelle für automatisierte Operation komplexer Struktur-matrizen. Große Strukturen (Flächen bis zu 1 cm^2) sollen mit höchster Präzision und nahtlos schreibbar sein. Hierfür wird eine Stage Schrittgröße von maximal 1nm sowie eine stitching Genauigkeit von maximal 50nm (3 sigma) benötigt. Da die Schreibzeit von Hochpräzisionsprozessen sehr lang sein kann, wird entsprechende Strahlstabilität gefordert, sodass Prozesse über mehrere Stunden bzw. auch über mehrere Tage störfrei funktionieren. Obige Anforderungen an die Ionen-Quellen, sowie an Prozesspräzision und Stabilität sind unabdingbar für die Anwendungen mit diesem Gerät. Das Gerät "Velion S FIB" der Firma "Raith" ist das einzig verfügbare Gerät, welches diesen Anforderungen entspricht.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Raith GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 2025.934
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers
Begründung für eine spätere Veröffentlichung: Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen. Daher wird der Angebotspreis nicht veröffentlicht.
Konzession – Wert:
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Uni-HD.2025.934_Ionenstrahlschreiber_KIP
Titel: Vergabeverfahren zur Lieferung eines Ionenstrahlschreibers
Datum der Auswahl des Gewinners: 24/07/2025
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Heidelberg
Registrierungsnummer: 08-A3529-39
Postanschrift: Seminarstraße 2
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69117
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Vergabestelle
Telefon: +49 6221-5412456
Fax: +49 6221-541612220
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Registrierungsnummer: 08-A9866-40
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Stadt: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land, Gliederung (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Referat 15 Vergabekammer
Telefon: +49 721926-8730
Fax: +49 721926-3985
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Raith GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE124727617
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Stadt: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land, Gliederung (NUTS): Dortmund, Kreisfreie Stadt (DEA52)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 2a8846bf-4f4c-4dab-bb82-654f9e6a0408 - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 07/08/2025 08:55:25 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 520958-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 151/2025
Datum der Veröffentlichung: 08/08/2025