1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: DRIE IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zu liefern ist insofern eine Anlage zum reaktiven Ionentiefätzen (deep reactive ion etching, „DRIE“), die dem Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken dienen soll. Die Anlage soll für Bosch-Prozesse zum gepulsten Tiefenätzen sowie für Kyrogenes Tiefenätzen von Silizium zur Verfügung stehen. Bei beiden Prozessen wird ein maximales Aspektverhältnis der geätzten Strukturen von mindestens 10:1 angestrebt. Die Anlage muss eine Reinraumtauglichkeit für den Betrieb im Weißbereich eines Reinraums mit der ISO 5 oder besser aufweisen. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Kennung des Verfahrens: 9e957e61-a8fc-4358-8529-33a2ea637a61
Interne Kennung: 2023/GV 7397541
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: DRIE IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zu liefern ist insofern eine Anlage zum reaktiven Ionentiefätzen (deep reactive ion etching, „DRIE“), die dem Ätzen tiefer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken dienen soll. Die Anlage soll für Bosch-Prozesse zum gepulsten Tiefenätzen sowie für Kyrogenes Tiefenätzen von Silizium zur Verfügung stehen. Bei beiden Prozessen wird ein maximales Aspektverhältnis der geätzten Strukturen von mindestens 10:1 angestrebt. Die Anlage muss eine Reinraumtauglichkeit für den Betrieb im Weißbereich eines Reinraums mit der ISO 5 oder besser aufweisen. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Interne Kennung: 2023/GV 7397541
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Zusätzliche Art des Auftrags: Dienstleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 4 Jahr
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität der angebotenen Anlage
Beschreibung: Qualität der angebotenen Anlage
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität von Service und Lieferung
Beschreibung: Qualität von Service und Lieferung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 20
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Gesamtpreis der Anlage einschließlich maximal 4maligem jährlichem Service/Wartung
Beschreibung: Gesamtpreis der Anlage einschließlich maximal 4maligem jährlichem Service/Wartung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet
Vergabe von Unteraufträgen: no
Wert der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Prozentanteil der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags:
Datum des Vertragsabschlusses: 05/03/2024
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: nein
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Registrierungsnummer: 992 - 0 3005 - 81
Abteilung: Quantencomputingeinkauf
Postanschrift: Linder Höhe
Stadt: Köln
Postleitzahl: 51147
Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kanzlei Boesen Rechtsanwälte
Telefon: +49 228 215290
Fax: +49 228 215491
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: medium
Registrierungsnummer: DE 113869215
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 6122 9370
Fax: +49 6122 937190
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: DEU GBR
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land, Gliederung (NUTS): DE714
Land: DEU
Telefon: +49 6122 9370
Fax: +49 6122 937190
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: N.N.
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 94990
Fax: +49 228 9499163
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 7f167fd8-c8f9-4c9b-b2aa-31d22c335b04 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 09/04/2024 00:00:00 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 212722-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 72/2024
Datum der Veröffentlichung: 11/04/2024