Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Plasmaverascher IZHH

71267-2024 - Ergebnis
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Plasmaverascher IZHH
OJ S 24/2024 02/02/2024
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Dienstleistungen - Lieferungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Plasmaverascher IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Kennung des Verfahrens: f673bb97-52e1-4296-ae7a-45587765799f
Interne Kennung: 2023 / GV 7580110
Verfahrensart: Offenes Verfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Lieferort ist die angegebene Adresse oder ein noch zu benennender Lieferort im Stadtgebiet Hamburg.
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Plasmaverascher IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Interne Kennung: 2023 / GV 7580110
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Zusätzliche Art des Auftrags: Dienstleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Lieferort ist die angegebene Adresse oder ein noch zu benennender Lieferort im Stadtgebiet Hamburg.
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 00737454-2023
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität des Plasmaveraschers
Beschreibung: Qualität des Plasmaveraschers
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30

Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Service und Lieferung
Beschreibung: Service und Lieferung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 20

Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Beschreibung: Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammern des Bundes
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Alle Angebote, Teilnahmeanträge oder Projekte wurden zurückgezogen oder als unzulässig abgelehnt.
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote geprüft und als unzulässig abgewiesen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge2
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge2
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Registrierungsnummer: 992 - 0 3005 - 81
Abteilung: Quantencomputingeinkauf
Postanschrift: Linder Höhe  
Stadt: Köln
Postleitzahl: 51147
Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kanzlei Boesen Rechtsanwälte
Telefon: +49 228 215290
Fax: +49228 215491
Internetadresse: https://www.dlr.de
Rollen dieser Organisation
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: N.N.
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16  
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 94990
Fax: +49 228 9499163
Rollen dieser Organisation
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: c28d8f87-299c-4f5c-8921-81bab72f4f16 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/02/2024 00:00:00 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 71267-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 24/2024
Datum der Veröffentlichung: 02/02/2024

Wähle einen Ort aus Nordrhein-Westfalen

Aachen
Ahaus
Ahlen
Aldenhoven
Alfter
Alpen
Alsdorf
Altena
Altenbeken
Altenberge
Anröchte
Arnsberg
Ascheberg
Attendorn
Augustdorf
Bad Berleburg
Bad Driburg
Bad Honnef
Bad Laasphe
Bad Lippspringe
Bad Münstereifel
Bad Oeynhausen
Bad Salzuflen
Bad Sassendorf
Bad Wünnenberg
Baesweiler
Balve
Barntrup
Beckum
Bedburg
Bedburg-Hau
Beelen
Bergheim
Bergisch Gladbach
Bergkamen
Bergneustadt
Bestwig
Beverungen
Bielefeld
Billerbeck
Blankenheim (Ahr)
Blomberg
Bocholt
Bochum
Bönen
Bonn
Borchen
Borgentreich
Borgholzhausen
Borken
Bornheim
Bottrop
Brakel
Breckerfeld
Brilon
Brüggen
Brühl
Bünde
Burbach
Büren
Burscheid
Castrop-Rauxel
Coesfeld
Datteln
Delbrück
Detmold
Dinslaken
Dörentrup-Bega
Dormagen
Dorsten
Dortmund
Drensteinfurt
Drolshagen
Duisburg
Dülmen
Düren
Düsseldorf
Eitorf
Elsdorf
Emmerich am Rhein
Emsdetten
Engelskirchen
Enger
Ennepetal
Ennigerloh
Ense
Erftstadt
Erkelenz
Erkrath
Erndtebrück
Erwitte
Eschweiler
Eslohe
Espelkamp
Essen
Euskirchen
Everswinkel
Extertal
Finnentrop
Frechen
Freudenberg (Siegerland)
Fröndenberg
Gangelt
Geilenkirchen
Geldern
Gelsenkirchen
Gescher
Geseke
Gevelsberg
Gladbeck
Goch
Grefrath
Greven
Grevenbroich
Gronau
Gummersbach
Gütersloh
Haan
Hagen
Halle (Westf.)
Hallenberg
Haltern am See
Halver
Hamm
Hamminkeln
Harsewinkel
Hattingen
Havixbeck
Heiden
Heiligenhaus
Heimbach
Heinsberg
Hellenthal
Hemer
Hennef
Herdecke
Herford
Herne
Herscheid
Herten
Herzebrock-Clarholz
Herzogenrath
Hiddenhausen
Hilchenbach
Hilden
Hille
Holzwickede
Hopsten
Horn-Bad Meinberg
Hörstel
Horstmar
Hövelhof
Höxter
Hückelhoven
Hückeswagen
Hüllhorst
Hünxe
Hürtgenwald
Hürth
Ibbenbüren
Inden
Iserlohn
Isselburg
Jüchen
Jülich
Jülich
Kaarst
Kalkar
Kall
Kalletal
Kamen
Kamp-Lintfort
Kempen
Kerken
Kerpen
Kevelaer
Kierspe
Kirchhundem
Kirchlengern
Kleve
Köln
Königswinter
Korschenbroich
Krefeld
Kreuzau
Kreuztal
Kürten
Ladbergen
Laer
Lage
Langenfeld
Langerwehe
Legden
Leichlingen
Lemgo
Lengerich
Lennestadt
Leopoldshöhe
Leverkusen
Lichtenau
Lienen
Lindlar
Linnich
Lippetal
Lippstadt
Lohmar
Löhne
Lotte
Lübbecke
Lüdenscheid
Lüdinghausen
Lügde
Lünen
Marienheide
Marl
Marsberg
Mechernich
Meckenheim
Medebach
Meerbusch
Meinerzhagen
Menden (Sauerland)
Merzenich
Meschede
Mettingen
Mettmann
Minden
Moers
Möhnesee
Mönchengladbach
Monheim am Rhein
Monschau
Morsbach
Much
Mülheim an der Ruhr
Münster
Nachrodt-Wiblingwerde
Netphen
Nettersheim
Nettetal
Neuenkirchen (Kreis Steinfurt)
Neuenrade
Neukirchen-Vluyn
Neunkirchen
Neunkirchen-Seelscheid
Neuss
Nideggen
Niederkassel
Niederkrüchten
Niederzier
Nieheim
Nordkirchen
Nordwalde
Nörvenich
Nottuln
Nümbrecht
Oberhausen
Ochtrup
Odenthal
Oelde
Oer Erkenschwick
Oerlinghausen
Olfen
Olpe
Olsberg
Ostbevern
Overath
Paderborn
Petershagen
Plettenberg
Porta Westfalica
Preußisch Oldendorf
Pulheim
Radevormwald
Raesfeld
Rahden
Ratingen
Recke
Recklinghausen
Rees
Reichshof
Reken
Remscheid
Rheda-Wiedenbrück
Rhede
Rheinbach
Rheinberg
Rheine
Rheurdt
Rietberg
Rödinghausen
Rommerskirchen
Rosendahl
Rösrath
Ruppichteroth
Rüthen
Saerbeck
Salzkotten
Sankt Augustin
Schalksmühle
Schermbeck
Schieder-Schwalenberg
Schlangen
Schleiden
Schloß Holte-Stukenbrock
Schmallenberg
Schöppingen
Schwalmtal
Schwelm
Schwerte
Selfkant
Selm
Senden
Sendenhorst
Siegburg
Siegen
Simmerath
Soest
Solingen
Sonsbeck
Spenge
Sprockhövel
Stadtlohn
Steinfurt
Steinhagen
Steinheim
Stemwede
Stolberg
Straelen
Südlohn
Sundern
Swisttal
Tecklenburg
Telgte
Titz
Tönisvorst
Troisdorf
Übach-Palenberg
Uedem
Unna
Velbert
Velen
Verl
Versmold
Vettweiß
Viersen
Vlotho
Voerde
Vreden
Wachtberg
Wachtendonk
Wadersloh
Waldbröl
Waltrop
Warburg
Warendorf
Warstein
Wassenberg
Weeze
Wegberg
Weilerswist
Welver
Wenden
Werdohl
Werl
Wermelskirchen
Werne
Werther (Westf.)
Wesel
Wesseling
Westerkappeln
Westheim
Wetter (Ruhr)
Wettringen
Wickede (Ruhr)
Wiehl
Willich
Wilnsdorf
Windeck
Winterberg
Wipperfürth
Witten
Wülfrath
Wuppertal
Würselen
Xanten
Zülpich