1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Optische Profilometrie IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Für die Bewertung der Prozesse werden verschiedene Verfahren der Metrologie benötigt. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse (z.B. Beschichtung mit Lack, Abscheidung von Metallen und Dielektrika, Substrat Tiefenätzen, …) soll ein Messgerät für die optische Profilometrie eingesetzt werden. Die optische Profilometrie erlaubt die berührungsfreie Charakterisierung der Probendicke und -topographie und ermöglicht somit unter anderem Rückschlüsse auf die mechanische Verspannung von Schichtstapeln, Tiefen geätzter Kavitäten sowie die Gleichmäßigkeit von Polierprozessen. Weitere integrierte Sensoren erlauben die Bestimmung von Schichtdicken mittels Interferometrie und Reflektometrie. Die Automatisierung des Messgeräts ermöglicht einen hohen Durchsatz und bedienerunabhängige Ergebnisse. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom Auftraggeber separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Kennung des Verfahrens: 9da69541-cba7-4849-8244-e018d2391b25
Interne Kennung: 2023 / GV 7580066
Verfahrensart: Offenes Verfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38126000 Oberflächen-Messgeräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Lieferort ist die genannte Adresse oder ein noch zu benennender Lieferort im Stadtgebiet Hamburg.
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Optische Profilometrie IZHH
Beschreibung: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Für die Bewertung der Prozesse werden verschiedene Verfahren der Metrologie benötigt. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse (z.B. Beschichtung mit Lack, Abscheidung von Metallen und Dielektrika, Substrat Tiefenätzen, …) soll ein Messgerät für die optische Profilometrie eingesetzt werden. Die optische Profilometrie erlaubt die berührungsfreie Charakterisierung der Probendicke und -topographie und ermöglicht somit unter anderem Rückschlüsse auf die mechanische Verspannung von Schichtstapeln, Tiefen geätzter Kavitäten sowie die Gleichmäßigkeit von Polierprozessen. Weitere integrierte Sensoren erlauben die Bestimmung von Schichtdicken mittels Interferometrie und Reflektometrie. Die Automatisierung des Messgeräts ermöglicht einen hohen Durchsatz und bedienerunabhängige Ergebnisse. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom Auftraggeber separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.
Interne Kennung: 2023 / GV 7580066
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Zusätzliche Art des Auftrags: Dienstleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38126000 Oberflächen-Messgeräte
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. - Quantencomputing-Initiative Innovationszentrum Hamburg - Gebäude A Erdgeschoss Stresemannallee 101
Stadt: Hamburg
Postleitzahl: 22529
Land, Gliederung (NUTS): Hamburg (DE600)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Lieferort ist die genannte Adresse oder ein noch zu benennender Lieferort im Stadtgebiet Hamburg.
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 00737175-2023
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität des optischen Profilometriegeräts
Beschreibung: Qualität des optischen Profilometriegeräts
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Service und Lieferung
Beschreibung: Service und Lieferung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 20
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Beschreibung: Preis der angebotenen Anlage zuzüglich Gesamtpreis für einen maximal viermaligen jährlichen Service/Wartung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Informationen über die Überprüfungsfristen: Nach § 160 Abs. 3 S. 1 Nr. 1 bis 4 GWB ist der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit • der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, • mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Nach § 135 Abs. 2 GWB endet die Frist, mit der die Unwirksamkeit eines Vertrages in einem Nachprüfungsverfahren geltend gemacht werden kann, 30 Kalendertage nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als sechs Monate nach Vertragsschluss. Im Falle der Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union endet die Frist 30 Kalendertage nach dieser Veröffentlichung.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammern des Bundes
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Alle Angebote, Teilnahmeanträge oder Projekte wurden zurückgezogen oder als unzulässig abgelehnt.
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote geprüft und als unzulässig abgewiesen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Registrierungsnummer: 992 - 0 3005 - 81
Abteilung: Quantencomputingeinkauf
Postanschrift: Linder Höhe
Stadt: Köln
Postleitzahl: 51147
Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kanzlei Boesen Rechtsanwälte
Telefon: +49 228 215290
Fax: +49 228 215491
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: N.N.
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 228 94990
Fax: +49 228 9499163
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 42f09e7d-9995-4d85-b9af-f696f5802add - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 31/01/2024 00:00:00 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 67818-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 23/2024
Datum der Veröffentlichung: 01/02/2024
