Elektronenstrahlschreiber Referenznummer der Bekanntmachung: 21-176
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Nationale Identifikationsnummer: DE 147 794 196
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Stuttgart
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 70174
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-stuttgart.de
Adresse des Beschafferprofils: https://www.beschaeftigte.uni-stuttgart.de/uni-services/finanzen/beschaffung/
Abschnitt II: Gegenstand
Elektronenstrahlschreiber
Gegenstand der Beschaffung ist ein dedizierter "high performance" Elektronenstrahlschreiber. Das Gerät dient zur großflächigen Strukturierung von Quantenmaterialien mit einer Präzision von wenigen Nanometern. Besonders soll dadurch die Herstellung von Masken für die Implantation von Quantendefekten über Flächen von mehreren (100?m)2 bei einer Genauigkeit von besser als 20nm erreicht werden.
Universität Stuttgart, 3. Physikalisches Institut Pfaffenwaldring 57 70569 Stuttgart Dr. Rainer Stöhr, Zentrum für Angewandte Quantentechnologie, Allmandring 13, 70569 Stuttgart, Reinraum
Gegenstand der Beschaffung ist ein dedizierter "high performance" Elektronenstrahlschreiber. Das Gerät dient zur großflächigen Strukturierung von Quantenmaterialien mit einer Präzision von wenigen Nanometern. Besonders soll dadurch die Herstellung von Masken für die Implantation von Quantendefekten über Flächen von mehreren (100?m)2 bei einer Genauigkeit von besser als 20nm erreicht werden.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Auftragsvergabe Raith GmbH
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dortmund
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 44263
Land: Deutschland
Internet-Adresse: http://www.raith.com
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YYED
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.rp-karlsruhe.de/servlet/PB/menu/1159131/index.html
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Stuttgart
Postleitzahl: 70174
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]