Bekanntmachung über vergebene Aufträge – IMS Chips – Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie – Abgabe indikativer Angebote Referenznummer der Bekanntmachung: 3917/2019
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Stuttgart
NUTS-Code: DE111 Stuttgart, Stadtkreis
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ims-chips.de
Abschnitt II: Gegenstand
Bekanntmachung über vergebene Aufträge – IMS Chips – Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie – Abgabe indikativer Angebote
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens war die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS).
IMS Chips
Allmandring 30a
70569 Stuttgart
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch „IMS“) ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens war die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern („Stepper“).
Ziel ist es, mit diesem Stepper sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen in den Bereichen MEMS, Photonik, Leistungshalbleiter und Diffraktive Optiken zu realisieren.
Für die Erreichung dieses Zwecks ist es erforderlich, dass der Stepper, insoweit abweichend von Standard-Lithgraphie-Steppern, größtmögliche Flexibilität in Hinblick auf Größe, Dicke und Beschaffenheit der zu prozessierenden Substrate gewährleistet. Zudem müssen auf dem Stepper in Anbetracht der verschiedenen Entwicklungsprojekte des IMS sowohl innovative und neuartige Lithografie-Prozesse entwickelt werden als auch Standard-Prozesse durchgeführt können, unter Einhaltung definierter Qualitätskriterien wie z. B. Homogenität und Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse oder Sauberkeit der durchgeführten Prozesse.
Einseitige Option zugunsten des Auftraggebers zum Abschluss eines Service- und Wartungsvertrags
Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Steppers erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Amstelveen
NUTS-Code: NL329 Groot-Amsterdam
Postleitzahl: 1185 XB
Land: Niederlande
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bei den Angaben unter den Ziffer II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZD8PK
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland
Fax: [removed]
Internet-Adresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).
Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:
1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.
Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.