Öffentliche Ausschreibung Marburg 2022 Umbau einer Epitaxie Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: UMR-2022-0021 2022-06-07

Umbau einer Epitaxie Anlage Referenznummer der Bekanntmachung: UMR-2022-0021

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Marburg
NUTS-Code: DE724 Marburg-Biedenkopf
Postleitzahl: 35037
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-marburg.de/de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Umbau einer Epitaxie Anlage

Referenznummer der Bekanntmachung: UMR-2022-0021

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Umbau einer Epitaxie Anlage

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)

73111000 Forschungslabordienste

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE724 Marburg-Biedenkopf

Hauptort der Ausführung:

Philipps-Universität Marburg / WZMW Hans Meerwein Str. 6, MzGb 35043 Marburg

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Das Wissenschaftliche Zentrum für Materialwissenschaften (WZMW) der Philipps-Universität Marburg sucht einen Dienstleister

für den Umbau einer Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) Anlage zu einer MOVPE - Atomic Layer Depoistion (ALD)

Hybridanlage.

Allgemeine Vorbemerkungen:

Im WZMW beschäftigen wir uns mit dem Wachstum hochreiner III/V Halbleiterstrukturen für verschiedene Bauelemente. Für

neuere Anwendungen ist vor allem das Wachstum bei extrem niedrigen Temperaturen interessant. Zu diesem Zweck soll eine

bestehende MOVPE Anlage in eine ALD Anlage umgebaut werden, die auf der einen Seite eine hohe Reinheit garantiert

(niedrige Leckage Rate) auf der anderen Seite wird, durch den selbstbegrenzten Prozess der ALD, die Homogenität auf großen

Flächen gewährleistet.

Die Entnahme der Quellchemikalien aus dem Bubbler soll durch "Bubblen" und "Vapor Draw" möglich sein. Weiterhin soll es

möglich bleiben, die Anlage wie eine Standard MOVPE Anlage zu verwenden. Der Reaktor muss dauerhaft mit Trägergas

gespült werden und der Druck durch eine Vent/Run Schaltung stabil gehalten werden.

Der Umbau schließt ebenfalls eine neue Elektronik sowie die Programmierung einer geeigneten Steuerungssoftware (auf

Englisch) mit ein.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Preis / Gewichtung: 80

Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 20

Preis - Gewichtung: 80.00

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 084-223923

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Bezeichnung des Auftrags:

Auftragsvergabe Sempa Systems GmbH

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

02/06/2022

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.sempa.de

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXS0YDFYY4U

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://rp-darmstadt.hessen.de/planung/%C3%B6ffentliches-auftragswesen/vergabekammer

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Gießen
Postleitzahl: 35390
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

02/06/2022

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