Betirebsbereite Lieferung eines Gerätes zur chemischen Gashphasenabschiedung mit induktiv gekoppeltem Plasma Referenznummer der Bekanntmachung: UKS-2023-048
Berichtigung
Bekanntmachung über Änderungen oder zusätzliche Angaben
Lieferauftrag
(Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, 2023/S 178-556573)
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift: Mönchebergstr. 19
Ort: Kassel
NUTS-Code: DE731 Kassel, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 34109
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 561804-0
Fax: +49 561804-2237
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://dtvp.de/Center
Abschnitt II: Gegenstand
Betirebsbereite Lieferung eines Gerätes zur chemischen Gashphasenabschiedung mit induktiv gekoppeltem Plasma
Unter der Leitung des Fachgebiets Technische Elektronik der Universität Kassel soll ein Gerät zur chemischen Gasphasenabscheidung mit induktiv gekoppeltem Plasma für die Abscheidung von qualitativ hochwertigen Siliziumdioxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxinitrid-Schichten beschafft werden inkl. betriebsbereiter Lieferung.
Nähere Informationen können Sie den Vergabeunterlagen entnehmen
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Abschnitt VII: Änderungen