Öffentliche Ausschreibung Darmstadt 2023 PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika Referenznummer der Bekanntmachung: A 301-23-41 2023-03-03

PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika Referenznummer der Bekanntmachung: A 301-23-41

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Darmstadt
NUTS-Code: DE711 Darmstadt, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 64289
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]1
Fax: +49 6151 / 16-24553
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-darmstadt.de

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYWW2J1MDC/documents

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://satellite.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYWW2J1MDC

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Bildung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika

Referenznummer der Bekanntmachung: A 301-23-41

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika. Die abzuscheidenden Dielektrika finden Anwendung als Isolationsschicht, Passivierungsschicht, Hartmasken für Ätzprozesse, Antireflexvergütung, dielektrische Spiegel und mikro-elektro-mechanisch durchstimmbare Systeme (MEMS).

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE711 Darmstadt, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

Technische Universität Darmstadt Karolinenplatz 5 64289 Darmstadt

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Wünschenswerte Ausstattung:

- Abgasreinigung/Scrubber passend zum Großgerät.

Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen Spezifikationen (Typ, Durchsatz, Filtermaterial, Jahresmenge). Geschätzte Prozessstunden /Jahr: 770h

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten: 9

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen

III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Die unter III.1.1)-III.1.3) verlangten Erklärungen und Nachweise sind ausschließlich unter Verwendung der der Aufforderung zur Angebotsabgabe als Anlagen beigefügten Formblätter zu erbringen. Die Nachweise und Erklärungen sind bei Bietergemeinschaften von allen Mitgliedern der Bietergemeinschaft zu erbringen.

Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung unter Fristsetzung von sämtlichen NU darüber hinaus die Erklärungen nach Ziff. III.1.1.) 1.) bis 2.) und Ziffer III.1.2.)1.) (siehe nachfolgend) anfordern. Werden diese Unterlagen nicht vorgelegt, wird das Angebot ausgeschlossen.

Folgende Erklärungen und Nachweise sind von den Bietern/Bietergemeinschaften einzureichen:

1. Kopie der Anmeldungs- bzw. Eintragungsbescheinigung ins Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Heimatlandes; andernfalls vergleichbarer Nachweis für die Existenz und den Gegenstand des Unternehmens des Bieters/jedes Mitglieds der Bietergemeinschaft. Der Auszug aus dem Handelsregister darf zum Zeitpunkt des Schlusstermins für den Eingang der Teilnahmeanträge nicht älter als 6 Monate sein.

2. Eigenerklärung des Bieters/der Bietergemeinschaft, dass keine Ausschlussgründe nach §§ 123, 124 GWB vorliegen.

3. Verpflichtungserklärung zu Tariftreue- und Mindestentgelt bei öffentlichen Aufträgen nach dem Hessischen Vergabe- und Tariftreuegesetz (HVTG)

4. Erklärung Runderlass

5. Erklärung Russ. Sanktionen

6. Ggf. Bietergemeinschaftserklärung;

7. Ggf. Erklärung zum Nachunternehmereinsatz (bereits mit dem Angebot vorzulegen);

8. Ggf. Nachunternehmerverpflichtungserklärung (im Fall der Eignungsleihe zur Erfüllung der Anforderungen gemäß Zif. III.1.2) und III.1.3) der Bekanntmachung mit dem Angebot vorzulegen, im Fall der reinen Nachunternehmerschaft ohne Eignungsleihe erst auf Verlangen des Auftraggebers).

Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung einen Auszug aus dem Gewerbezentralregister nach §150a GewO iVm. § 19 MiLoG beim Bundesamt für Justiz anfordern.

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

1. Erklärung über das Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von 3 Mio. EUR pauschal bei Personen-, Sach- und Vermögensschäden je Schadensereignis bzw. Erklärung über die Bereitschaft eine Haftpflichtversicherung mit den vorgenannten Deckungssummen im Auftragsfall abzuschließen.

2. Angabe des Nettogesamtumsatzes des Bieters/der Bietergemeinschaft in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren;

3. Angaben des Bieters/ der Bietergemeinschaft über die Anzahl der Mitarbeiter der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 30/03/2023

Ortszeit: 12:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 28/04/2023

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 30/03/2023

Ortszeit: 12:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der

Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der

notwendigen Spezifikationen (Typ, Durchsatz, Filtermaterial, Jahresmenge).

Geschätzte Prozessstunden /Jahr: 770h

Bekanntmachungs-ID: CXS0YDQYWW2J1MDC

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

27/02/2023

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