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Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS) Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Mikroproduktionstechnik

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Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Leibniz Universität Hannover
Postanschrift: Welfengarten 1
Ort: Hannover
NUTS-Code: DE929 Region Hannover
Postleitzahl: 30167
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Einkauf
E-Mail:
Telefon: +49 5117625444
Fax: +49 5117624926
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-hannover.de
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung
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Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Mikroproduktionstechnik
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Lieferung einer Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: 774 200.00 EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE929 Region Hannover
Hauptort der Ausführung:

Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Zur Herstellung und Integration von Diamant in MEMS wird entsprechende Infrastruktur benötigt. Der Bedarf an Diamantherstellung lässt sich in zwei Bereiche gliedern. Der erste Bereich benötigt Diamant als Funktionsmaterial in optischen, mechanischen und elektrischen Systemen mit Systemgrößen bis 200 mm bzw. 8". Der zweite Bereich benötigt vorrangig dünnen, einkristallinen Diamant höchster Reinheit auf verhältnismäßig kleinen Proben. Solche Diamanten verfügen über die höchste bekannte Güte und bilden so die Basis zur Forschung an fehlstellenbasierten quantenoptischen Bauelementen, die geringere Fehlstellendichten als 5 ppb (parts per billion) aufweisen. Dieses inhomogene Anforderungsprofil führt dazu, dass die Prozesse nicht in der gleichen Anlage erfolgen können. Benötigt werden somit zwei unterschiedlich ausgestattete Anlagen zur Herstellung von poly- und monokristallinem Diamant.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Techn. Merkmale Bereich 1: Substratgröße: bis 8; Probenwechsel: Schneller Probenwechsel durch z.B. durch "Clamshell" Verschluss Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verw.: Ja; Plasmaleistung: mind. 6kW Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N Möglichkeit zur Dotierung von Diamant während der Herstellung: Ja; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Homogenität der Diamantabscheidung: auf 2" weniger als 1% Schichtdickenvariation, auf 4" weniger als 10% Schichtdickenvariation; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl ohne Komponenten aus SiO2 im Bereich des Plasmas; Passive Heizung der Probe im Ber.: 400-1.000°C; Geregelte Temperatur: Rückkopplungsschleife zur Prozesssteuerung für Temperaturstabilität besser als 1 °C über Wochen; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-4 mbar; Anforderung an Schichtqualität: Optical & Mechanical Grade für Mikro- und Nano und Ultrananokristalline Diamantschichten und einkristalline Diamantschichten; Bereitst. v. Prozessdaten: ja / Gewichtung: 40
Qualitätskriterium - Name: Techn. Merkmale Bereich 2: Substratgr.: bis 2"; Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verwendet: Ja; Plasmaleistg.: zw. 1- 6kW; Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl o. Komponenten aus SiO2 z.B. Quarzrohr im Ber. des Plasmas; Gestaltung des Rezipienten: 7 CF40-Ansichtsanschlüsse, 3 horizontal auf Plasmaebene und 4 im Brewster-Winkel (für Diamant), die eine direkte Sicht auf die Probe durch das Plasma für die Plasma- u. Probendiagnose ermögl.; Akt. Heizung der Probe bis: 1.100 °C; Temperaturüberwachung: - Zweifarben-IR-Pyrometer z. Substrattemperaturüberwachung durch optische Faser mit Digitalanz., Temperaturber. 475 bis 1475°; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-8 mbar; Anforderg. an Schichtqu.: Monokristallin, mindestens electronic Grade, < 1 ppb Störstellendichte für Bor, Stickstoff und Silizium; Möglichk. zur Beladg. v. Proben d. Schleuse o. Vakuumbruch im Rezipienten: Ja / Gewichtung: 40
Preis - Gewichtung: 20
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
Projektnummer oder -referenz:

ZW7-85196513

II.2.14)Zusätzliche Angaben
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Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)
  • Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
    • nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Erläuterung:

Nach intensiver Marktrecherche und Sondierungen mit verschiedenen Anbietern konnte nur die Systeme SDS6k und SDS 6705 von CORNES Technologies Ltd. Japan alle für die geplanten Anwendungen erforderlichen Merkmale und Spezifikationen in ihrer Gesamtheit erfüllen (siehe Merkmale). Es ist kein weiteres Unternehmen auf dem Weltmarkt bekannt, welches dieses ermöglicht.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation
Der öffentliche Auftraggeber vergibt keine weiteren Aufträge auf der Grundlage der vorstehenden Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: Institut für Mikroproduktionstechnik
Bezeichnung des Auftrags:

Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
25/03/2022
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: CORNES Technologies Ltd.
Ort: Tokyo
NUTS-Code: JP Japan
Land: Japan
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 774 200.00 EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE644A

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Niedersächsischen Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr Digitalisierung
Postanschrift: Auf der Hude 2
Ort: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
18/11/2022
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