Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Hannover
NUTS-Code: DE929 Region Hannover
Postleitzahl: 30167
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-hannover.de

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

Einrichtung des öffentlichen Rechts

Bildung

Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Mikroproduktionstechnik

Lieferauftrag

Lieferung einer Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

NUTS-Code: DE929 Region Hannover

Hauptort der Ausführung:

Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen

Zur Herstellung und Integration von Diamant in MEMS wird entsprechende Infrastruktur benötigt. Der Bedarf an Diamantherstellung lässt sich in zwei Bereiche gliedern. Der erste Bereich benötigt Diamant als Funktionsmaterial in optischen, mechanischen und elektrischen Systemen mit Systemgrößen bis 200 mm bzw. 8". Der zweite Bereich benötigt vorrangig dünnen, einkristallinen Diamant höchster Reinheit auf verhältnismäßig kleinen Proben. Solche Diamanten verfügen über die höchste bekannte Güte und bilden so die Basis zur Forschung an fehlstellenbasierten quantenoptischen Bauelementen, die geringere Fehlstellendichten als 5 ppb (parts per billion) aufweisen. Dieses inhomogene Anforderungsprofil führt dazu, dass die Prozesse nicht in der gleichen Anlage erfolgen können. Benötigt werden somit zwei unterschiedlich ausgestattete Anlagen zur Herstellung von poly- und monokristallinem Diamant.

Qualitätskriterium - Name: Techn. Merkmale Bereich 1: Substratgröße: bis 8; Probenwechsel: Schneller Probenwechsel durch z.B. durch "Clamshell" Verschluss Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verw.: Ja; Plasmaleistung: mind. 6kW Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N Möglichkeit zur Dotierung von Diamant während der Herstellung: Ja; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Homogenität der Diamantabscheidung: auf 2" weniger als 1% Schichtdickenvariation, auf 4" weniger als 10% Schichtdickenvariation; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl ohne Komponenten aus SiO2 im Bereich des Plasmas; Passive Heizung der Probe im Ber.: 400-1.000°C; Geregelte Temperatur: Rückkopplungsschleife zur Prozesssteuerung für Temperaturstabilität besser als 1 °C über Wochen; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-4 mbar; Anforderung an Schichtqualität: Optical & Mechanical Grade für Mikro- und Nano und Ultrananokristalline Diamantschichten und einkristalline Diamantschichten; Bereitst. v. Prozessdaten: ja / Gewichtung: 40

Qualitätskriterium - Name: Techn. Merkmale Bereich 2: Substratgr.: bis 2"; Mikrowellenplasma Chemische Gasphasenabscheidung (MWCVD) Technologie verwendet: Ja; Plasmaleistg.: zw. 1- 6kW; Gaskanäle: H2 in 9N, CH4 in 7N; Probenvorbehandlg.: Trockenätzen in H2 Plasma; Material des MWCVD-Reaktors: Edelstahl o. Komponenten aus SiO2 z.B. Quarzrohr im Ber. des Plasmas; Gestaltung des Rezipienten: 7 CF40-Ansichtsanschlüsse, 3 horizontal auf Plasmaebene und 4 im Brewster-Winkel (für Diamant), die eine direkte Sicht auf die Probe durch das Plasma für die Plasma- u. Probendiagnose ermögl.; Akt. Heizung der Probe bis: 1.100 °C; Temperaturüberwachung: - Zweifarben-IR-Pyrometer z. Substrattemperaturüberwachung durch optische Faser mit Digitalanz., Temperaturber. 475 bis 1475°; Vakuumanforderung: kleiner 1 x 10-8 mbar; Anforderg. an Schichtqu.: Monokristallin, mindestens electronic Grade, < 1 ppb Störstellendichte für Bor, Stickstoff und Silizium; Möglichk. zur Beladg. v. Proben d. Schleuse o. Vakuumbruch im Rezipienten: Ja / Gewichtung: 40

Preis - Gewichtung: 20

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

ZW7-85196513

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Erläuterung:

Nach intensiver Marktrecherche und Sondierungen mit verschiedenen Anbietern konnte nur die Systeme SDS6k und SDS 6705 von CORNES Technologies Ltd. Japan alle für die geplanten Anwendungen erforderlichen Merkmale und Spezifikationen in ihrer Gesamtheit erfüllen (siehe Merkmale). Es ist kein weiteres Unternehmen auf dem Weltmarkt bekannt, welches dieses ermöglicht.

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

Der öffentliche Auftraggeber vergibt keine weiteren Aufträge auf der Grundlage der vorstehenden Vorinformation

Auftrags-Nr.: Institut für Mikroproduktionstechnik

Infrastruktur zur Herstellung von Diamanten zur Integration in mikrotechnische elektrisch mechanische Systeme (MEMS)

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

25/03/2022

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Tokyo
NUTS-Code: JP Japan
Land: Japan

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE644A

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land: Deutschland

18/11/2022