Öffentliche Ausschreibung Hannover 2022 Vakuum-Beschichtungsanlage für die Metallbeschichtung von 3D-mikrobearbeiteten dielektrischen Wafern für die Herstellung von Ionenfallen Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Quantenoptik 2022-02-08

Vakuum-Beschichtungsanlage für die Metallbeschichtung von 3D-mikrobearbeiteten dielektrischen Wafern für die Herstellung von Ionenfallen Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Quantenoptik

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Hannover
NUTS-Code: DE929 Region Hannover
Postleitzahl: 30167
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-hannover.de

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Vakuum-Beschichtungsanlage für die Metallbeschichtung von 3D-mikrobearbeiteten dielektrischen Wafern für die Herstellung von Ionenfallen

Referenznummer der Bekanntmachung: Institut für Quantenoptik

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Lieferung einer Vakuum-Beschichtungsanlage für die Metallbeschichtung von 3D-mikrobearbeiteten dielektrischen Wafern für die Herstellung von Ionenfallen

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE929 Region Hannover

Hauptort der Ausführung:

Institut für Quantenoptik Welfengarten 1 30167 Hannover

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Diese Vakuum-Beschichtungsanlage wird für die Metallbeschichtung von mikrobearbeiteten dielektrischen 3D-Wafern und die Produktion von skalierbaren lonenfallen für die Quantencomputing/Quantenmetrologie beschafft. Die dielektrischen Wafer für die lonenfallen sind dreidimensional und enthalten zahlreiche mikroskopische Merkmale wie Schlitze und Durchgangsbohrungen mit hohem Aspektverhältnis. Die Breite der Schlitze und Durchgangsbohrungen beträgt bis zu 20pm, die Tiefe bis zu 500pm. Die mikrobearbeiteten 3D-Wafer müssen mit einer bis zu 5 pm dicken Metallschicht bedampft werden. Um die notwendigen Eigenschaften der Metallisierung zu erreichen, muss das System in der Lage sein, die dielektrischen Wafer auf bis zu 700 °C aufzuheizen. Die Beschichtung mit vier verschiedenen Materialien in einem Prozess muss realisierbar sein.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Aufheizung des dielektrischen Wafers auf bis zu 700 °C; Beschichtung mit vier verschiedenen Materialien in einem Prozess; 5pm dicke Metallisierung von 3D-mikrobearbeiteten Wafern mit schmalen (bis zu 20pm) und tiefen (bis zu 500pm) Schlitzen und Durchgangsbohrungen / Gewichtung: 60

Preis - Gewichtung: 40

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)

Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen

Erläuterung:

Die Metallisierung von 3D-mikrobearbeiteten Wafern mit den geforderten Eigenschaften ist eine komplexe Anforderung, die mit Standardanlagen nicht zu realisieren ist. HHV Ltd ist der einzige Anbieter von Beschichtungsanlage in der Klasse, die für den beschriebenen Forschungsbedarf relevant ist: Aufheizung des dielektrischen Wafers auf bis zu 700 C; Beschichtung mit vier verschiedenen Materialien in einem Prozess; 5pm dicke Metallisierung von 3D-mikrobearbeiteten Wafern mit schmalen (bis zu 20pm) und tiefen (bis zu 500pm) Schlitzen und Durchgangsbohrungen. Diese Eigenschaften zusammen sind ein Alleinstellungsmerkmal des geplanten Systems, das derzeit von keinem anderen Anbieter auf dem Markt angeboten wird. Die Notwendigkeit der aufgelisteten Eigenschaften ist durch umfangreiche Forschungsarbeiten am IQO sowie in Literatur begründet.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: Institut für Quantenoptik

Bezeichnung des Auftrags:

Vakuum-Beschichtungsanlage für die Metallbeschichtung von 3D-mikrobearbeiteten dielektrischen Wafern für die Herstellung von Ionenfallen

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

21/01/2022

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Crawley
NUTS-Code: UKJ2 Surrey, East and West Sussex
Land: Vereinigtes Königreich
Internet-Adresse: http://hhvltd.com/

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YHERZXV

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land: Deutschland

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

03/02/2022

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