Lieferung von 2 Purifierkabinette mit den dazugehörigen Purifierkartuschen Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-078
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Nationale Identifikationsnummer: 2021/S 156-411735
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com
Abschnitt II: Gegenstand
Lieferung von 2 Purifierkabinette mit den dazugehörigen Purifierkartuschen
LOS 1
Purifierkabinet geeignet für den Einsatz an Epitaxieanlagen der Firma Applied Matireals für:
Wasserstoff, 100 Liter/ min
Stickstoff, 100 Liter/ min
Chlorwasserstoff, 20 Liter/ min
Größe maximal BxTxH 460 x 200 x 2000 mm
Inklusive Endpunktüberwachung
Inklusive Absperr-, Bypass- und Spülvorrichtung für die Pirifier
NANOCHEM(R) SideCar-EP Purifier System
von Matheson Tri-Gas oder vergleichbar 2 Stk
LOS 2 Purifierkartuschen geeignet für die oben genannten Purifierkabinette in Los 1
2.1 Purifierkartusche für Wasserstoff, max 150 Liter/ min
mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile
A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2
L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk
2.2 Purifierkartusche für Stickstoff, max 150 Liter/ min
mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile
A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2
L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk
2.3 Purifierkartusche für Chlorwasserstoff, max 20 Liter/
Purifierkabinet
Purifierkabinet
Purifierkartusche
Purifierkartusche
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Purifierkabinet
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59