Öffentliche Ausschreibung Frankfurt (Oder) 2021 PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-073 2021-11-12

PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-073

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Nationale Identifikationsnummer: 2021/S 154-408811
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-073

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung

Anlagenrichtpreis

Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto.

Gebrauchswert

Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen.

Folgekosten

Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen.

Geräteevaluierung

Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vor

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung

Anlagenrichtpreis

Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto.

Gebrauchswert

Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen.

Folgekosten

Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen.

Geräteevaluierung

II.2.5)Zuschlagskriterien

Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40%

Kostenkriterium - Name: Wartungskosten/Folgekosten für 3 Jahre nach Ablauf der Garantie (inkl. der Ersatz-/ Verschleißteile) / Gewichtung: 3%

Kostenkriterium - Name: Erfükkung der Kriterien der Evaluierung / Gewichtung: 3%

Kostenkriterium - Name: weltweit installierte Basis in R&D und Produktion / Gewichtung: 3%

Kostenkriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 3%

Kostenkriterium - Name: Kompatibilität zur vorhandenen Pilotlinie / Gewichtung: 24%

Kostenkriterium - Name: Erfüllung der Leistungsbeschreibung einschließlich garantierter Prozessparameter / Gewichtung: 24%

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 154-408811

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2211437

Bezeichnung des Auftrags:

PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

14/09/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Wales
NUTS-Code: UK United Kingdom
Postleitzahl: NP182TA
Land: Vereinigtes Königreich

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

08/11/2021

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