Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-114
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/
Abschnitt II: Gegenstand
Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern.
Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden.
Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten:
Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau.
Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke
Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke.
Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen.
Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten.
Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern.
Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden.
Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten:
Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau.
Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke
Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke.
Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen.
Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten.
Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYWA
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
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Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
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Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]