Präzisionsreinigung von Halbleiteranlagenenteilen mit Reinstqualität Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-067
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Nationale Identifikationsnummer: 2021/S 144-382235
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com
Abschnitt II: Gegenstand
Präzisionsreinigung von Halbleiteranlagenenteilen mit Reinstqualität
— Für das IHP qualifizierte Präzisionsreinigung von Halbleiteranlagenenteilen mit Reinstqualität,
— Mind. Reinraumbedingungen (Klasse ISO 5),
— Zugang zu den Teilenummern der Firma Applied Materials,
— Zu reinigende Analgen / Kammern:
—— Applied Materials: TxZ, WxZ, TTN Widebody, Ti IMP, PCII, AlCu, NiPt, Co,
—— DPS, DPS+, Poly DPS, Metal DPS, eMxP, HDP, DxZ,
—— SPTS: Rapier, Synapse, APM.
— Für das IHP qualifizierte Präzisionsreinigung von Halbleiteranlagenenteilen mit Reinstqualität,
— Mind. Reinraumbedingungen (Klasse ISO 5),
— Zugang zu den Teilenummern der Firma Applied Materials,
— Zu reinigende Analgen / Kammern
—— Applied Materials: TxZ, WxZ, TTN Widebody, Ti IMP, PCII, AlCu, NiPt, Co,
—— DPS, DPS+, Poly DPS, Metal DPS, eMxP, HDP, DxZ,
—— SPTS: Rapier, Synapse, APM.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Präzisionsreinigung von Halbleiteranlagenenteilen mit Reinstqualität
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59