Öffentliche Ausschreibung Frankfurt (Oder) 2021 Nassätztool Platin-Ätzung Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-036 2021-08-27

Nassätztool Platin-Ätzung Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-036

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Nationale Identifikationsnummer: 2021/S 099-260655
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Nassätztool Platin-Ätzung

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-036

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Allgemeine Information:

— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,

— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.

Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:

— Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m,

— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),

— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,

— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier),

— Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann,

— Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW),

— Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation),

— Ein DIW-Spülbecken,

— Möglichkeit, HCl und/o

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Allgemeine Information:

— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,

— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.

Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:

— Maximale Größe (b x l x h): 1,00 m x 1.65 m x 2,50 m,

— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),

— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,

— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier),

— Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann,

— Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW),

— Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation),

— Ein DIW-Spülbecken,

— Möglichkeit, HCl und/oder HNO3 vor und während des Prozesses an bestimmten Zeiten zu spiken,

— Manuelle Be- und Entladung, automatischer Transfer des Carriers zwischen Prozess- und Spülbecken,

— Befüllen des Prozesstanks mit erfolgt aus der Zentralversorgung,

— Entsorgung der Prozesschemikalien aus dem Prozessbecken erfolgt in eine Zentralentsorgung,

— Umwälzfiltration für Prozessbecken: Pumpe und 0.1 ?m Filter (Typ: Pall ABF1UFT3EH1K3),

— Wartungsarbeiten sind ausschließlich von der Anlagenvorderseite und Anlagenrückseite möglich, kein Zugriff von der Anlagenseite möglich,

— Alle Bedienelemente müssen sich an der Anlagenvorderseite befinden,

— Ergonomische Bedienungsoberfläche (frei positionierbarer Bildschirm),

— Signalleuchten an der Anlagenvorderseite (mind. Rot, Gelb, Grün),

— Elektrische Anschlüsse: 230/400VAC 50Hz TN-S Netz (N/PE getrennt),

— EG-Maschinenrichtlinie in der aktuellen Fassung muss erfüllt werden,

— 2014/30/EU EMV ist erfüllt,

— Ablage muss CE zertifiziert sein,

Software:

— Verfügbar in deutscher Sprache,

— Mehrere passwortgeschützte Benutzerlevel,

— Mehrere Rezepte können gespeichert werden,

— Individuelle Rezepte können erstellt werden, mit größtmöglicher Flexibilität der Prozessparameter,

— Protokollierung von Benutzeraktivitäten, Prozessen und Fehlermeldungen,

Zusätzliche Anforderungen:

— 12 Monate Garantie,

— Anlagentraining für Operator/Maintenance/Prozessingenieure,

— Handbücher in Deutsch, verfügbar digital sowie ausgedruckt auf Reinraumpapier,

— Ersatzteilkit (bitte spezifizieren),

— Lieferung nach Incoterm 2010 DDP, DPU oder DAP,

— Bei Lieferungen außerhalb der EU ist der Lieferant auch der Importeur,

— Medienanschlüsse sind in einem technischen Klärungsgespräch zu definieren.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40%

Kostenkriterium - Name: maximale Flexibilität / Gewichtung: 60%

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 099-260655

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2211261

Bezeichnung des Auftrags:

Nassätztool Platin-Ätzung

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

09/08/2021

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Donaueschingen
NUTS-Code: DE136 Schwarzwald-Baar-Kreis
Postleitzahl: 78166
Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

24/08/2021

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