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Ort: Cottbus
NUTS-Code: DE402 Cottbus, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 03046
Land: Deutschland
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Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie

Referenznummer der Bekanntmachung: F41_000405

Lieferauftrag

Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie

Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.

Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.

15/04/2021

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 066-170696

Abschnitt Nummer: III.1.3)

Stelle des zu berichtigenden Textes: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Anstatt:

muss es heißen:

Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen

Sie finden eine aktualisierte Leistungsbeschreibung, eine aktualisierte Bewertungsmatrix und ein Dokument Eignungskriterien unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.