Röntgendiffraktometer Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2020-069
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Nationale Identifikationsnummer: 2020/S [removed]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com
Abschnitt II: Gegenstand
Röntgendiffraktometer
Leistungsbeschreibung
Ausgeschrieben ist ein Neugerät zur Messung von Röntgenstreuung, insbesondere aber nicht ausschließlich für Röntgenbeugung (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR) an dünnen, epitaktischen Schichten, um z. B. Gitterparameter und Schichtdicken zu bestimmen. Es ist ein komplettes System gesucht welches ein Strahlenschutzgehäuse entsprechend eines Vollschutzgerätes, ein präzises Vierkreis-Goniometer mit Eulerwiege und In-plane arm, eine Röntgenquelle inklusive Optiken für einen monochromatizierten und hoch intensiven Röntgenstrahl, eine Aufnahme für Proben von 1x1 mm2 bis hin zu Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm, eine zusätzliche Probenaufnahme für Messungen bei variabler Temperatur von -180 Grad C bis +200 Grad C, einen Leistungsstarken 2D Detektor für schnelle Probenjustage und schnelle reziproke Gitterkarten, zusätzliches Equipment zur flexiblen Einsatzfähigkeit, ein stabiles Computer- und Softwaresystem zur Gerätekontrolle, Datenaufnahme sowie Datenanalyse und Simulation umfasst. Ebenfalls muss die Installation und weitere Unterstützung gewährleistet sein. Das IHP behält sich vor, dass die technischen Anforderungen über Testmessungen nachgewiesen werden müssen.
Leistungsbeschreibung
Ausgeschrieben ist ein Neugerät zur Messung von Röntgenstreuung, insbesondere aber nicht ausschließlich für Röntgenbeugung (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR) an dünnen, epitaktischen Schichten, um z. B. Gitterparameter und Schichtdicken zu bestimmen. Es ist ein komplettes System gesucht welches ein Strahlenschutzgehäuse entsprechend eines Vollschutzgerätes, ein präzises Vierkreis-Goniometer mit Eulerwiege und In-plane arm, eine Röntgenquelle inklusive Optiken für einen monochromatizierten und hoch intensiven Röntgenstrahl, eine Aufnahme für Proben von 1x1 mm2 bis hin zu Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm, eine zusätzliche Probenaufnahme für Messungen bei variabler Temperatur von -180 Grad C bis +200 Grad C, einen Leistungsstarken 2D Detektor für schnelle Probenjustage und schnelle reziproke Gitterkarten, zusätzliches Equipment zur flexiblen Einsatzfähigkeit, ein stabiles Computer- und Softwaresystem zur Gerätekontrolle, Datenaufnahme sowie Datenanalyse und Simulation umfasst. Ebenfalls muss die Installation und weitere Unterstützung gewährleistet sein. Das IHP behält sich vor, dass die technischen Anforderungen über Testmessungen nachgewiesen werden müssen.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Röntgendiffraktometer
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Neu Isenburg
NUTS-Code: DE71C Offenbach, Landkreis
Postleitzahl: 63263
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Telefon: [removed]
Fax: [removed]