Spektroskopisches Ellipsometer Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-079_1

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
E-Mail:
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Spektroskopisches Ellipsometer

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-079_1
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Spektroskopisches Ellipsometer

Spektralbereich 190 nm - 3500 nm mit vorzugsweise Si CCD und InAs Detektoren

Automatischer Pyramidengoniometer mindestens im Bereich von 20Grad - 100Grad, mit minimaler Schrittweite von 0.002Grad

Automatischer 200 mm X-Y-Mappingtisch mit einer Genauigkeit < 5 Müm

Automatische Probenausrichtung in Höhe und Neigung

PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung

Hochstabilisierter Kompensator für den UV-VIS- und NIR-Spektralbereich

Variabler Strahldurchmesser < 4 mm

Software für die spektroskopische Ellipsometrie, einschließlich hochentwickelter Mehrfachwinkel-, Mehrfachproben- und kombinierter photometrischer Datenanalyse, Mueller-Matrix-Formalismus, verallgemeinerter Ellipsometrie, und programmierbarer Kundenschnittstelle

Optional: Strahldurchmesser < 0,3 mm

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Spektroskopisches Ellipsometer

Spektralbereich 190 nm - 3500 nm mit vorzugsweise Si CCD und InAs Detektoren

Automatischer Pyramidengoniometer mindestens im Bereich von 20Grad - 100Grad, mit minimaler Schrittweite von 0.002Grad

Automatischer 200 mm X-Y-Mappingtisch mit einer Genauigkeit < 5 Müm

Automatische Probenausrichtung in Höhe und Neigung

PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung

Hochstabilisierter Kompensator für den UV-VIS- und NIR-Spektralbereich

Variabler Strahldurchmesser < 4 mm

Software für die spektroskopische Ellipsometrie, einschließlich hochentwickelter Mehrfachwinkel-, Mehrfachproben- und kombinierter photometrischer Datenanalyse, Mueller-Matrix-Formalismus, verallgemeinerter Ellipsometrie, und programmierbarer Kundenschnittstelle

Optional: Strahldurchmesser < 0,3 mm

II.2.5)Zuschlagskriterien
Preis
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 163-428411
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Bezeichnung des Auftrags:

Auftragsvergabe SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
04/10/2021
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Ort: Krailling bei München
NUTS-Code: DE21L Starnberg
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 8989796070
Fax: +49 89897960722
Internet-Adresse: http://www.sentech-sales.de
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1C82NZGD

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
16/10/2023

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