Spektroskopisches Ellipsometer Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2021-079_1
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
E-Mail:
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html
Abschnitt II: Gegenstand
Spektroskopisches Ellipsometer
Spektroskopisches Ellipsometer
Spektralbereich 190 nm - 3500 nm mit vorzugsweise Si CCD und InAs Detektoren
Automatischer Pyramidengoniometer mindestens im Bereich von 20Grad - 100Grad, mit minimaler Schrittweite von 0.002Grad
Automatischer 200 mm X-Y-Mappingtisch mit einer Genauigkeit < 5 Müm
Automatische Probenausrichtung in Höhe und Neigung
PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung
Hochstabilisierter Kompensator für den UV-VIS- und NIR-Spektralbereich
Variabler Strahldurchmesser < 4 mm
Software für die spektroskopische Ellipsometrie, einschließlich hochentwickelter Mehrfachwinkel-, Mehrfachproben- und kombinierter photometrischer Datenanalyse, Mueller-Matrix-Formalismus, verallgemeinerter Ellipsometrie, und programmierbarer Kundenschnittstelle
Optional: Strahldurchmesser < 0,3 mm
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
Spektroskopisches Ellipsometer
Spektralbereich 190 nm - 3500 nm mit vorzugsweise Si CCD und InAs Detektoren
Automatischer Pyramidengoniometer mindestens im Bereich von 20Grad - 100Grad, mit minimaler Schrittweite von 0.002Grad
Automatischer 200 mm X-Y-Mappingtisch mit einer Genauigkeit < 5 Müm
Automatische Probenausrichtung in Höhe und Neigung
PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung
Hochstabilisierter Kompensator für den UV-VIS- und NIR-Spektralbereich
Variabler Strahldurchmesser < 4 mm
Software für die spektroskopische Ellipsometrie, einschließlich hochentwickelter Mehrfachwinkel-, Mehrfachproben- und kombinierter photometrischer Datenanalyse, Mueller-Matrix-Formalismus, verallgemeinerter Ellipsometrie, und programmierbarer Kundenschnittstelle
Optional: Strahldurchmesser < 0,3 mm
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Auftragsvergabe SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Ort: Krailling bei München
NUTS-Code: DE21L Starnberg
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 8989796070
Fax: +49 89897960722
Internet-Adresse: http://www.sentech-sales.de
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1C82NZGD
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652