Öffentliche Ausschreibung Frankfurt (Oder) 2023 Trockenaetzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-056 -1 2023-09-04

Trockenaetzanlage Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-056 -1

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Nationale Identifikationsnummer: 2023/S 108-339434
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
E-Mail:
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: Forschung und Entwicklung

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Trockenaetzanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-056 -1

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

200/300 mm Wafer bridge tool -4 port Mainframe vorerst ausgelegt für 200 mm Wafer mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:

a) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von metallischen Schichten (siehe Punkt 3)

b) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von Siliziumschichten (siehe Punkt 4)

c) 1x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 5)

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

200/300 mm Wafer bridge tool -4 port Mainframe vorerst ausgelegt für 200 mm Wafer mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:

a) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von metallischen Schichten (siehe Punkt 3)

b) 1x Trockenätzkammer für Strukturierung von Siliziumschichten (siehe Punkt 4)

c) 1x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 5)

II.2.5)Zuschlagskriterien

Preis

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 108-339434

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2231351

Bezeichnung des Auftrags:

Auftragsvergabe Applied Materials

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2)Auftragsvergabe

V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:

26/07/2023

V.2.2)Angaben zu den Angeboten

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde

Offizielle Bezeichnung: Applied Materials
Postanschrift: Buchenstrasse 16b
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01097
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 3518002420

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1BM61HZ0

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

30/08/2023

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